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【实用新型】单晶炉台排气装置_TCL中环新能源科技股份有限公司;内蒙古中环晶体材料有限公司_202322392558.6 

申请/专利权人:TCL中环新能源科技股份有限公司;内蒙古中环晶体材料有限公司

申请日:2023-09-04

公开(公告)日:2024-05-14

公开(公告)号:CN220952172U

主分类号:C30B15/00

分类号:C30B15/00

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.05.14#授权

摘要:本申请公开了单晶炉台排气装置,单晶炉台排气装置包括主真空管道,主真空管道上设有取气口;第一放空泄压管,第一放空泄压管通过取气口与主真空管道连通;第一放空泄压管设有第一阻燃器,第一阻燃器包括相互贯通的两端,且两端均设有法兰,第一阻燃器通过法兰与第一放空泄压管连通。本申请提供的单晶炉台排气装置,设置第一放空泄压管,在需要放空泄压时,能够控制放空泄压管进行放空泄压,能避免主真空管道中的压力无法正常排放,提高主真空管道的安全性。

主权项:1.一种单晶炉台排气装置,其特征在于,包括:主真空管道10,所述主真空管道10上设有取气口21;第一放空泄压管20,所述第一放空泄压管20通过所述取气口21与所述主真空管道10连通;所述第一放空泄压管20设有第一阻燃器28,所述第一阻燃器28包括相互贯通的两端,且两端均设有法兰,所述第一阻燃器28通过所述法兰与所述第一放空泄压管20连通。

全文数据:

权利要求:

百度查询: TCL中环新能源科技股份有限公司;内蒙古中环晶体材料有限公司 单晶炉台排气装置

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