申请/专利权人:清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
申请日:2018-07-03
公开(公告)日:2020-01-10
公开(公告)号:CN110676341A
主分类号:H01L31/109(20060101)
分类号:H01L31/109(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2021.06.25#授权;2020.02.11#实质审查的生效;2020.01.10#公开
摘要:本发明涉及一种半导体结构,其包括:一半导体层,该半导体层具有第一表面和与第一表面相对的第二表面;至少一根金属型碳纳米管,该至少一根金属型碳纳米管设置于所述半导体层的第一表面;至少一石墨烯层,该至少一石墨烯层设置于所述半导体层的第二表面,使所述半导体层设置于所述至少一根金属型碳纳米管和所述至少一石墨烯层之间,所述至少一根金属型碳纳米管与所述至少一石墨烯层纵横交叉设置,而形成至少一个交叉层叠区域,在每一个交叉层叠区域,所述金属型碳纳米管、所述半导体层及所述石墨烯层相互层叠形成一多层立体结构。本发明还涉及一种光电器件、一种光探测器及一种光谱仪。
主权项:1.一种半导体结构,其包括:一半导体层,该半导体层具有第一表面和与第一表面相对的第二表面;至少一根金属型碳纳米管,该至少一根金属型碳纳米管设置于所述半导体层的第一表面;至少一石墨烯层,该至少一石墨烯层设置于所述半导体层的第二表面,使所述半导体层设置于所述至少一根金属型碳纳米管和所述至少一石墨烯层之间,所述至少一根金属型碳纳米管与所述至少一石墨烯层纵横交叉设置,而形成至少一个交叉层叠区域,在每一个交叉层叠区域,所述金属型碳纳米管、所述半导体层及所述石墨烯层相互层叠形成一多层立体结构。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 半导体结构、光电器件、光探测器及光探测仪
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