申请/专利权人：株式会社斯库林集团

申请日：2019-07-29

公开（公告）日：2020-03-24

公开（公告）号：CN110911267A

主分类号：H01L21/02(20060101)

分类号：H01L21/02(20060101);H01L21/67(20060101);H01L21/68(20060101);H01L21/683(20060101)

优先权：["20180918 JP 2018-173832"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.06.01#实质审查的生效;2020.03.24#公开

摘要：本发明提供一种基板处理装置以及基板处理方法，在基板处理装置中，在使形成有图案的第一主面朝向下方的状态下保持基板9，并且对朝向上方的第二主面用处理液进行处理。在与外部的搬运机构交接基板时，由升降部22的多个升降支撑面从下方支撑基板的外周缘。夹具部23的多个夹具抵接面与由升降部支撑的基板的外周端面抵接，从而保持基板。由此，能够抑制第一主面的外周缘附近的图案的损伤。在夹具部中，在使一部分的夹具抵接面从基板的外周端面分离的状态下，能够保持基板，在向第二主面供给处理液的期间，由夹具切换机构切换从外周端面分离的夹具抵接面。由此，能够抑制基板的外周缘的处理液的痕迹的产生。

主权项：1.一种基板处理装置，其中，包括：基板保持部，在基板的第一主面形成有图案，在使所述第一主面朝向下方的状态下将所述基板保持为水平；基板旋转机构，使由所述基板保持部保持的所述基板以朝向上下方向的中心轴为中心旋转；以及处理液供给部，向所述基板的朝向上方的第二主面供给处理液，所述基板保持部具备：相对板部，具有与所述基板的所述第一主面相对的相对面；升降部，具有在所述相对板部配置于所述基板的外周缘的下方的多个升降销，所述多个升降销具有多个升降支撑面，在与外部的搬运机构交接所述基板时，由所述多个升降支撑面从下方支撑所述外周缘；夹具部，具有在所述相对板部配置于所述基板的所述外周缘的下方的多个夹具销，所述多个夹具销分别具有能够在水平方向上移动的多个夹具抵接面，通过使所述多个夹具抵接面与由所述升降部支撑的所述基板的外周端面抵接，在使所述基板从全部所述多个升降支撑面向上方分离的状态下，保持所述基板；以及夹具切换机构，在使所述多个夹具抵接面中的一部分的夹具抵接面从所述基板的所述外周端面分离，并且使剩余的夹具抵接面与所述外周端面抵接的状态下，所述夹具部能够保持所述基板，在所述处理液供给部向所述第二主面供给所述处理液的期间，切换从所述外周端面分离的夹具抵接面。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社斯库林集团 基板处理装置以及基板处理方法

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