申请/专利权人：芯恩(青岛)集成电路有限公司

申请日：2018-11-14

公开（公告）日：2020-05-22

公开（公告）号：CN111189845A

主分类号：G01N21/95(20060101)

分类号：G01N21/95(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的撤回

法律状态：2021.11.05#发明专利申请公布后的撤回;2020.06.16#实质审查的生效;2020.05.22#公开

摘要：本发明提供一种缺陷检测方法及缺陷检测系统，缺陷检测方法包括步骤：1使用短波光及长波光分别对待检测晶圆各区域进行交替脉冲式扫描；2接收待检测晶圆对短波光进行反射的短波反射光信号及对长波光进行反射的长波反射光信号；3去除位于预设强度范围之外的短波反射光信号及长波反射光信号，并去除待检测晶圆同一区域反射的、且位于预设强度范围之内的短波反射光信号及长波反射光信号二者中的强度较小者；4依据保留的短波反射光信号及保留的长波反射光信号形成缺陷图形以进行缺陷检测。本发明可以确保各个区域的亮度最优化，可以提高缺陷的捕获能力，避免缺陷的漏检。

主权项：1.一种缺陷检测方法，其特征在于，所述缺陷检测方法包括步骤：1使用短波光及长波光分别对待检测晶圆各区域进行交替脉冲式扫描；2接收所述待检测晶圆对所述短波光进行反射的短波反射光信号及对所述长波光进行反射的长波反射光信号；3去除位于预设强度范围之外的所述短波反射光信号及所述长波反射光信号，并去除所述待检测晶圆同一区域反射的、且位于所述预设强度范围之内的所述短波反射光信号及所述长波反射光信号二者中的强度较小者；4依据保留的所述短波反射光信号及保留的所述长波反射光信号形成缺陷图形以进行缺陷检测。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 芯恩(青岛)集成电路有限公司 缺陷检测方法及缺陷检测系统

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD