申请/专利权人：三星显示有限公司

申请日：2019-11-12

公开（公告）日：2020-05-22

公开（公告）号：CN111192819A

主分类号：H01L21/027(20060101)

分类号：H01L21/027(20060101)

优先权：["20181114 KR 10-2018-0139977"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.12.03#实质审查的生效;2020.05.22#公开

摘要：提供了一种形成图案部的方法，所述方法包括：在目标对象上形成第一膜，第一膜具有第一固化收缩率；在第一膜上形成第二膜，第二膜具有大于第一固化收缩率的第二固化收缩率；以及使第一膜和第二膜图案化以形成图案。

主权项：1.一种形成图案部的方法，所述方法包括以下步骤：在目标对象上形成第一膜，所述第一膜具有第一固化收缩率；在所述第一膜上形成第二膜，所述第二膜具有大于所述第一固化收缩率的第二固化收缩率；以及使所述第一膜和所述第二膜图案化以形成图案。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 三星显示有限公司 形成图案部的方法

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