申请/专利权人：东京毅力科创株式会社

申请日：2019-12-12

公开（公告）日：2020-06-19

公开（公告）号：CN111312619A

主分类号：H01L21/67(20060101)

分类号：H01L21/67(20060101);H01L21/311(20060101)

优先权：["20181212 JP 2018-232113"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.09.28#实质审查的生效;2020.06.19#公开

摘要：本发明提供基板处理装置和处理液浓缩方法。能够高效地使成为磷酸处理液的原料的磷酸水溶液浓缩成期望的浓度。本公开的一技术方案的基板处理装置包括：处理部，其利用处理液处理基板；以及处理液生成部，其生成向处理部供给的处理液。处理液生成部具有：储存部、循环管线、加热部以及喷嘴。储存部储存处理液。循环管线使储存于储存部的处理液循环。加热部加热处理液。喷嘴设于循环管线的下游侧，具有自储存于储存部的处理液的液面上方喷出由加热部加热了的处理液的喷出口。

主权项：1.一种基板处理装置，其中，该基板处理装置包括：处理部，其利用处理液处理基板；以及处理液生成部，其生成向所述处理部供给的所述处理液，所述处理液生成部具有：储存部，其储存所述处理液；循环管线，其使储存于所述储存部的所述处理液循环；加热部，其加热所述处理液；以及喷嘴，其设于所述循环管线的下游侧，具有自储存于所述储存部的所述处理液的液面上方喷出由所述加热部加热了的所述处理液的喷出口。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东京毅力科创株式会社 基板处理装置和处理液浓缩方法

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