申请/专利权人:天津威盛株式会社
申请日:2019-12-10
公开(公告)日:2020-06-23
公开(公告)号:CN111327294A
主分类号:H03H9/17(20060101)
分类号:H03H9/17(20060101);H03H3/02(20060101)
优先权:["20181213 KR 10-2018-0161000"]
专利状态码:失效-发明专利申请公布后的视为撤回
法律状态:2024.02.27#发明专利申请公布后的视为撤回;2020.07.17#实质审查的生效;2020.06.23#公开
摘要:适用本发明之一实施例的压电薄膜谐振器,包括:基板;下部电极,配置在上述基板上;压电层;配置在上述下部电极上;以及,上部电极,配置在上述压电层上;其中,在上述上部电极的上侧面形成围绕谐振区域的凹凸图案。
主权项:1.一种压电薄膜谐振器,其特征在于,包括:基板;下部电极,配置在上述基板上;压电层;配置在上述下部电极上;以及,上部电极,配置在上述压电层上;其中,在上述上部电极的上侧面形成围绕谐振区域的凹凸图案。
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