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【发明公布】压电薄膜谐振器_天津威盛株式会社_201911259270.3 

申请/专利权人:天津威盛株式会社

申请日:2019-12-10

公开(公告)日:2020-06-23

公开(公告)号:CN111327294A

主分类号:H03H9/17(20060101)

分类号:H03H9/17(20060101);H03H3/02(20060101)

优先权:["20181213 KR 10-2018-0161000"]

专利状态码:失效-发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态:2024.02.27#发明专利申请公布后的视为撤回;2020.07.17#实质审查的生效;2020.06.23#公开

摘要:适用本发明之一实施例的压电薄膜谐振器,包括:基板;下部电极,配置在上述基板上;压电层;配置在上述下部电极上;以及,上部电极,配置在上述压电层上;其中,在上述上部电极的上侧面形成围绕谐振区域的凹凸图案。

主权项:1.一种压电薄膜谐振器,其特征在于,包括:基板;下部电极,配置在上述基板上;压电层;配置在上述下部电极上;以及,上部电极,配置在上述压电层上;其中,在上述上部电极的上侧面形成围绕谐振区域的凹凸图案。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 天津威盛株式会社 压电薄膜谐振器

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