申请/专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司

申请日：2020-04-02

公开（公告）日：2020-06-26

公开（公告）号：CN111341723A

主分类号：H01L21/687(20060101)

分类号：H01L21/687(20060101);G01R1/04(20060101);G01B11/00(20060101);F16H25/12(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的撤回

法律状态：2021.11.30#发明专利申请公布后的撤回;2020.07.21#实质审查的生效;2020.06.26#公开

摘要：本发明公开了一种垂向运动装置，包括凸轮组件、电机组件以及运动平台，该凸轮组件包括凸轮定子和凸轮动子，该凸轮定子与该电机组件连接并在顶部设有高度变化的驱动表面，该凸轮动子与该凸轮定子配合并与该运动平台连接，通过该电机组件运动带动该凸轮定子转动从而驱动该凸轮动子沿该驱动表面滚动，以驱动该运动平台进行垂向运动。本发明的垂向运动装置采用直驱形式，减少了传动环节，提高了垂向的运动速度，响应较快。

主权项：1.一种垂向运动装置，其特征在于，所述垂向运动装置包括凸轮组件、电机组件以及运动平台，所述凸轮组件包括凸轮定子和凸轮动子，所述凸轮定子与所述电机组件连接并在顶部设有高度变化的驱动表面，所述凸轮动子与所述凸轮定子配合并与所述运动平台连接，通过所述电机组件运动带动所述凸轮定子转动从而驱动所述凸轮动子沿所述驱动表面滚动，以驱动所述运动平台进行垂向运动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海隐冠半导体技术有限公司 垂向运动装置

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