申请/专利权人：西安奕斯伟硅片技术有限公司

申请日：2020-06-11

公开（公告）日：2020-07-17

公开（公告）号：CN211029905U

主分类号：B25H1/18(20060101)

分类号：B25H1/18(20060101);B25H1/14(20060101);B25B11/00(20060101);G01N21/95(20060101);G01D21/02(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.07.17#授权

摘要：本实用新型提供一种承载结构，包括：承载盘；三个支撑杆，每个所述支撑杆的上端分别止抵所述承载盘的底侧；驱动结构，每个所述支撑杆的下端分别设有所述驱动结构，每个所述驱动结构驱动相应的所述支撑杆沿所述支撑杆的长度方向上下移动以使所述承载盘处于水平状态。在本实用新型的承载结构中，硅片量测时，当承载盘出现倾斜时，通过调节驱动结构以驱动相应的所述支撑杆沿所述支撑杆的长度方向上下移动，进而使所述承载盘处于水平状态，保证硅片处于水平状态，避免硅片边缘量测的位置偏移，提高检测结果的准确性。

主权项：1.一种承载结构，其特征在于，包括：承载盘；三个支撑杆，每个所述支撑杆的上端分别止抵所述承载盘的底侧；驱动结构，每个所述支撑杆的下端分别设有所述驱动结构，每个所述驱动结构驱动相应的所述支撑杆沿所述支撑杆的长度方向上下移动以使所述承载盘处于水平状态。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 西安奕斯伟硅片技术有限公司 一种承载结构

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