申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司

申请日：2020-03-23

公开（公告）日：2020-07-24

公开（公告）号：CN111446198A

主分类号：H01L21/683(20060101)

分类号：H01L21/683(20060101);H01L21/67(20060101);H01J37/20(20060101);H01J37/32(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.05.16#授权;2020.08.18#实质审查的生效;2020.07.24#公开

摘要：本发明公开一种静电卡盘及其控制方法，所述静电卡盘包括基体、加热组件和吸附部，所述加热组件叠设于所述基体上，所述加热组件包括加热基层和至少一个局部加热部，各所述局部加热部均层叠设置于所述加热基层的表面，且所述加热基层和各所述局部加热部均独立控制；所述吸附部叠设于所述加热组件背离所述基体的一侧，所述吸附部用于吸附被加工件。采用上述静电卡盘可以解决目前静电卡盘为晶圆提供加热作用时，因出现晶圆中位于同一加热区域内的部分中，不同位置处的实际温度不同，导致晶圆的工艺结果存在不均匀现象的问题。

主权项：1.一种静电卡盘，其特征在于，包括：基体100；加热组件，所述加热组件叠设于所述基体100上，所述加热组件包括加热基层200和至少一个局部加热部500，各所述局部加热部500均层叠设置于所述加热基层200的表面，且所述加热基层200和各所述局部加热部500均独立控制；吸附部400，所述吸附部400叠设于所述加热组件背离所述基体100的一侧，所述吸附部400用于吸附被加工件。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 静电卡盘及其控制方法

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