申请/专利权人：苏州长瑞光电有限公司

申请日：2019-04-02

公开（公告）日：2020-10-13

公开（公告）号：CN111769438A

主分类号：H01S5/183(20060101)

分类号：H01S5/183(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.10.15#授权;2020.10.30#实质审查的生效;2020.10.13#公开

摘要：本发明公开一种面射型激光装置。面射型激光装置用以产生一激光光束，且包括外延叠层体以及一保护结构。外延叠层体包括一第一反射镜层、一有源层、一第二反射镜层。有源层位于第一反射镜层与第二反射镜层之间，且外延叠层体具有至少一氧化沟槽，其由外延叠层体的一表面延伸至外延叠层体内部。保护结构设置于外延叠层体上，且包括一第一叠层部分。第一叠层部分覆盖氧化沟槽的一内壁面，且第一叠层部分至少包括一应力缓冲层、一氧化铝层以及一覆盖层。氧化铝层夹设在应力缓冲层与覆盖层之间。

主权项：1.一种面射型激光装置，用以产生激光光束，其特征在于，所述面射型激光装置包括：外延叠层体，其包括第一反射镜层、有源层、第二反射镜层，其中，所述有源层位于所述第一反射镜层与所述第二反射镜层之间，所述外延叠层体包括至少一氧化沟槽；以及保护结构，其设置于所述外延叠层体上，且包括第一叠层部分，其中，所述第一叠层部分覆盖所述氧化沟槽的内壁面，所述第一叠层部分至少包括应力缓冲层、第一氧化铝层以及第一覆盖层，且所述第一氧化铝层夹设于所述应力缓冲层与所述第一覆盖层之间。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州长瑞光电有限公司 面射型激光装置

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