申请/专利权人：惠州市奥普康真空科技有限公司

申请日：2020-07-14

公开（公告）日：2020-10-16

公开（公告）号：CN111780697A

主分类号：G01B21/00(20060101)

分类号：G01B21/00(20060101);C23C14/30(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.08.23#授权;2020.11.03#实质审查的生效;2020.10.16#公开

摘要：本发明揭示了一种多位式坩埚定位方法，其包括对坩埚的多个承载位进行编码，获得编码信息，对坩埚的多个承载位进行到位检测，获得到位信息，根据编码信息和到位信息，获得坩埚的多个承载位的定位信息，根据定位信息控制电子枪蒸镀控制系统进行作业；本发明还揭示了一种多位式坩埚定位系统。本申请通过对坩埚的多个承载位进行编码，再将编码信息和承载位的到位信息一并形成坩埚承载位的定位信息，能够明确的知晓坩埚承载位的位号，并明确该位号所对应的坩埚承载位的到位情况，从而准确的判断出是否需要控制电子枪蒸镀控制系统进行作业；整个方法简单可靠，出错率低，且实现的成本低。

主权项：1.一种多位式坩埚定位方法，其特征在于，包括以下步骤：对坩埚的多个承载位进行编码，获得编码信息；对所述坩埚的多个所述承载位进行到位检测，获得到位信息；根据所述编码信息和所述到位信息，获得所述坩埚的多个所述承载位的定位信息。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 惠州市奥普康真空科技有限公司 多位式坩埚定位方法及定位系统

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