申请/专利权人：前进材料科技株式会社

申请日：2020-03-25

公开（公告）日：2020-10-20

公开（公告）号：CN111799363A

主分类号：H01L41/083(20060101)

分类号：H01L41/083(20060101);H01L41/187(20060101)

优先权：["20190403 JP 2019-071072"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.03.25#实质审查的生效;2020.10.20#公开

摘要：本发明提供一种膜结构体，能够使含有锆钛酸铅的压电膜的压电特性提高。膜结构体構造体具有：基体11；形成于基体11上，并且含有锆钛酸铅的下部压电膜21；形成于下部压电膜21上，并且含有锆钛酸铅的上部压电膜22。基体11具有压缩应力，下部压电膜21和上部压电膜22均具有拉伸应力，下部压电膜21的弹性常数大于上部压电膜22的弹性常数。

主权项：1.一种膜结构体，其具有：基体；第一压电膜，其形成于所述基体上，并且含有锆钛酸铅；第二压电膜，其形成于所述第一压电膜上，并且含有锆钛酸铅，所述基体具有压缩应力，所述第一压电膜和所述第二压电膜均具有拉伸应力，所述第一压电膜的第一弹性常数大于所述第二压电膜的第二弹性常数。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 前进材料科技株式会社 膜结构体

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