申请/专利权人：清华大学

申请日：2019-11-26

公开（公告）日：2020-11-24

公开（公告）号：CN110864069B

主分类号：F16F15/02(20060101)

分类号：F16F15/02(20060101);F25B9/14(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.11.24#授权;2020.03.31#实质审查的生效;2020.03.06#公开

摘要：本发明涉及一种综合腔减振系统，主要包括超低振动制冷单元、振动隔离腔和样品腔，超低振动制冷单元包括隔声罩、制冷机、制冷机光学平台和真空罩a，真空罩a设置在制冷机光学平台上，制冷机设置在安装板上，在安装板与制冷机支架之间安装有低频减振器和柔性波纹管，制冷机支架底部通过二级减振座与制冷机光学平台连接；所述振动隔离腔通过隔振输液管与制冷机的输液管相连接，所述振动隔离腔由三维减振机构设置在样品腔浮动光学平台上，振动隔离腔中的液氦罐通过低温管路与高效换热器相连通，高效换热器通过柔性冷链与样品连接，传冷介质为高纯氦气。本发明能够降低振动对超高真空系统中综合腔的影响，大大提高实验检测精度。

主权项：1.一种综合腔减振系统，其特征在于：该系统主要包括超低振动制冷单元、振动隔离腔（8）和样品腔（9），所述超低振动制冷单元包括制冷机（6）、制冷机光学平台（4）和真空罩a（2），真空罩a（2）设置在制冷机光学平台（4）上，真空罩a（2）内设置有冷屏a（24），制冷机（6）设置在安装板（11）上并贯穿制冷机支架（13）进入冷屏a（24）中，安装板（11）与制冷机支架（13）之间安装有由三个低频减振器（12）组成的三角减振支撑结构，在安装板（11）与制冷机支架（13）之间于制冷机（6）上均设置有柔性橡胶波纹管a（21），所述振动隔离腔（8）通过隔振输液管（14）与制冷机（6）的输液管（7）相连接，位于输液管（7）与隔振输液管（14）之间设置有柔性橡胶波纹管b（22），振动隔离腔（8）中的真空罩b（15）通过减振支撑架（19）设置在样品腔浮动光学平台（10）上，样品腔（9）安装在样品腔浮动光学平台（10）上，在振动隔离腔与样品腔之间设置有柔性波纹管c（23），振动隔离腔通过低温管路（18）与高效换热器相连通，高效换热器通过柔性冷链与样品连接，所述振动隔离腔（8）主要由真空罩b（15）、冷屏b（16）、液氦罐（17）以及三维减振机构组成，其中液氦罐（17）设置在冷屏b（16）内部，冷屏b（16）设置在真空罩b（15）的内部，隔振输液管（14）穿过真空罩b（15）和冷屏b（16）后与冷屏b（16）包裹着的液氦罐（17）相连通，所述三维减振机构包括三个竖立直板（20），真空罩b（15）通过对置式波纹管减振结构分别与三个竖立直板相连接，即真空罩b（15）通过三个相同的柔性橡胶波纹管d（25）相应的与三个竖立直板（20）分别连接，三个竖立直板（20）均设置在样品腔浮动光学平台（10）上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 清华大学 一种综合腔减振系统

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