申请/专利权人：旭晖应用材料股份有限公司

申请日：2019-07-02

公开（公告）日：2021-01-05

公开（公告）号：CN112176279A

主分类号：C23C14/04(20060101)

分类号：C23C14/04(20060101);C23C16/04(20060101);H01L51/56(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态：2023.05.16#发明专利申请公布后的视为撤回;2021.01.22#实质审查的生效;2021.01.05#公开

摘要：本发明涉及一种金属遮罩，其包括一金属材料的遮罩板体以及形成于遮罩板体一侧或两侧的蚀刻构造，蚀刻构造具有至少一图案化蚀刻槽，遮罩板体于图案化蚀刻槽沿着板厚方向的侧边具有板体基部，其中，通过遮罩板体单一侧或两侧的蚀刻构造的图案化蚀刻槽中形成图案化肋部，或是利用遮罩板体两侧形成对称或不对称的蚀刻构造，使板体基部位于遮罩板体的板厚中的中间位置等，使金属遮罩不改变遮罩板体厚度的条件下，有效地提升其机械强度，且具备改善镀膜制造方法粘片的功效。

主权项：1.一种金属遮罩，其包括一金属材料的遮罩板体，该遮罩板体界定有一接触区域，以及位于接触区域外围的周边区域，该接触区域中设有多个镀膜图案孔以及位于相邻镀膜图案孔之间的遮蔽部；其特征在于：该金属遮罩包括一蚀刻构造，该蚀刻构造形成于该遮罩板体的一侧，且该遮罩板体于所述蚀刻构造沿着该遮罩板体的板厚方向的另一侧边具有一板体基部，所述蚀刻构造包括至少一图案化蚀刻槽以及位于所述图案化蚀刻槽中的至少一图案化肋部，所述图案化蚀刻槽的蚀刻深度小于或等于该板体基部的厚度，所述图案化肋部连接所述板体基部。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 旭晖应用材料股份有限公司 金属遮罩

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