申请/专利权人：北京万应科技有限公司

申请日：2019-08-08

公开（公告）日：2021-02-09

公开（公告）号：CN112346154A

主分类号：G02B3/00(20060101)

分类号：G02B3/00(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.03.02#实质审查的生效;2021.02.09#公开

摘要：本发明实施例公开了一种微透镜母模制造方法及微透镜母模，包括：在衬底上涂敷光刻胶；在所述光刻胶上光刻图形，形成光刻窗口；在所述光刻窗口内电镀预定金属，形成金属柱；其中，光刻窗口的直径与金属柱直径相等；去除光刻胶；对金属柱进行高温真空回流处理，形成金属半球；所述金属半球降温固化，得到微透镜母模。利用本发明实施例不仅能够简化制作工艺，还可采用常规半导体加工工艺实现高精度、高密度、高占空比微透镜母模的制造，大大降低生产成本，同时还可采用电镀和高温真空回流技术使金属半球表面光滑如镜，大大降低金属半球的粗糙度，实现超低粗糙度制造，而且易于清洁和再生，可适应各种微透镜母模的制造，适用性广。

主权项：1.一种微透镜母模制造方法，其特征在于，包括：在衬底上涂敷光刻胶；在所述光刻胶上光刻图形，形成光刻窗口；在所述光刻窗口内电镀预定金属，形成金属柱；其中，光刻窗口的直径与金属柱直径相等；去除光刻胶；对金属柱进行高温真空回流处理，形成金属半球；所述金属半球降温固化，得到微透镜母模。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京万应科技有限公司 微透镜母模制造方法及微透镜母模

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD