申请/专利权人：福建省晋华集成电路有限公司

申请日：2020-10-23

公开（公告）日：2021-02-12

公开（公告）号：CN112366203A

主分类号：H01L27/02(20060101)

分类号：H01L27/02(20060101);H01L27/108(20060101);H01L21/8242(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.01.03#授权;2021.03.05#实质审查的生效;2021.02.12#公开

摘要：本申请公开了一种图案布局以及其形成方法。该图案布局包括：在水平方向上相互平行且间隔排列的多条第一线段，在垂直方向上相互平行且间隔排列的多条第二线段，任一第一线段的上边界到另一相邻的第一线段的上边界距离定义为BLP，任一第二线段的左边界到另一相邻的第二线段的左边界距离定义为WLP；单位子图案；多条斜阶梯状图案，斜阶梯状图案包含有多个相同形状的矩形图案，矩形图案彼此重叠连接并沿着第一方向排列，各矩形图案在水平方向上的宽度定义为X，各矩形图案在垂直方向上与相邻的矩形图案不重叠的宽度定义为Y；单位子图案包括N条斜阶梯状图案。该图案布局可以提高整体图案分布的均匀性。

主权项：1.一种图案布局，其特征在于，包括：在水平方向上相互平行且间隔排列的多条第一线段，以及在垂直方向上相互平行且间隔排列的多条第二线段，其中任一所述第一线段的上边界边到另一相邻的所述第一线段的上边界边距离定义为BLP，而任一所述第二线段的左边界边到另一相邻的所述第二线段的左边界边距离定义为WLP，所述水平方向与所述垂直方向垂直；一单位子图案，所述单位子图案的宽度为4×WLP、长度为4×BLP；多条斜阶梯状图案，其中每一条所述斜阶梯状图案均包含有多个相同形状的矩形图案，所述矩形图案彼此重叠连接并沿着一第一方向排列，其中各所述矩形图案在所述水平方向上的宽度定义为X，各所述矩形图案在所述垂直方向上与相邻的所述矩形图案不重叠的宽度定义为Y，并满足以下条件：BLP3WLP＝YX；其中，所述单位子图案包括N条所述斜阶梯状图案，且满足条件：4BLP+C×YN＝整数，其中C为0或是大于或等于1的最小正整数，N为整数，所述第一方向不同于所述水平方向或所述垂直方向。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 福建省晋华集成电路有限公司 图案布局以及其形成方法

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