申请/专利权人：上海华力集成电路制造有限公司

申请日：2020-11-11

公开（公告）日：2021-02-23

公开（公告）号：CN112392978A

主分类号：F16K3/02(20060101)

分类号：F16K3/02(20060101);F16K3/30(20060101);F16K41/10(20060101);H01L21/67(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的驳回

法律状态：2023.10.27#发明专利申请公布后的驳回;2021.03.12#实质审查的生效;2021.02.23#公开

摘要：本发明公开了一种狭缝阀装置，包括：驱动模块，运动轴，第一密封件，狭缝阀门。运动轴的第一端设置在驱动模块上，狭缝阀门设置在运动轴的第二端上。第一密封件上设置有金属轴承，运动轴穿过金属轴承，所述金属轴承的第二端和狭缝阀门都设置在第一密封件的内部空间中。在第一密封件的内部空间中还嵌套有第二密封件，第二密封件将金属轴承和运动轴包覆，以防止金属轴承和运动轴的摩擦颗粒上扬到机台腔中。本发明能防止狭缝阀装置的运动部件摩擦产生的颗粒污染进入到机台腔中并防止污染产品。

主权项：1.一种狭缝阀装置，其特征在于，包括：驱动模块，运动轴，第一密封件，狭缝阀门；所述运动轴的第一端设置在所述驱动模块上，所述狭缝阀门设置在所述运动轴的第二端上；所述第一密封件上设置有金属轴承，所述运动轴穿过所述金属轴承，所述金属轴承的第二端和所述狭缝阀门都设置在所述第一密封件的内部空间中；所述狭缝阀门和机台腔的狭缝相对应设置，用以对所述机台腔的狭缝进行打开或关闭；在所述第一密封件的内部空间中还嵌套有第二密封件，所述第二密封件将所述金属轴承和所述运动轴包覆，以防止所述金属轴承和所述运动轴的摩擦颗粒上扬到所述机台腔中。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海华力集成电路制造有限公司 狭缝阀装置

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