申请/专利权人：京东方科技集团股份有限公司

申请日：2017-05-02

公开（公告）日：2021-02-23

公开（公告）号：CN107421916B

主分类号：G01N21/59(20060101)

分类号：G01N21/59(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.02.23#授权;2017.12.26#实质审查的生效;2017.12.01#公开

摘要：本发明公开了一种检测装置、工艺系统和检测方法。该检测装置包括箱体和灰化检测装置，所述箱体的入光侧上设置有开口，所述开口上设置有窗体，所述箱体的出光侧上设置有狭缝；所述窗体用于将入射的照射光透射至所述狭缝；所述狭缝用于将所述照射光透射至位于所述箱体出光侧外部的目标基板上；所述灰化检测装置用于检测所述目标基板是否发生灰化。本发明提供的检测装置、工艺系统和检测方法的技术方案中，灰化检测装置可检测目标基板是否发生灰化，当灰化检测装置检测出目标基板发生灰化时可立即停止照射光照射到目标基板上，从而避免了灰化产生的颗粒污染设备。

主权项：1.一种检测装置，其特征在于，包括箱体和灰化检测装置，所述箱体的入光侧上设置有开口，所述开口上设置有窗体，所述箱体的出光侧上设置有狭缝；所述窗体用于将入射的照射光透射至所述狭缝；所述狭缝用于将所述照射光透射至位于所述箱体出光侧外部的目标基板上，以对所述目标基板进行激光退火；所述灰化检测装置用于检测所述目标基板是否发生灰化；所述灰化检测装置包括气体洁净度检测装置和或空气透过率检测装置；所述气体洁净度检测装置用于检测出气体洁净度以判断目标基板上是否发生灰化；所述空气透过率检测装置用于检测出空气透过率以判断目标基板上是否发生灰化；若所述灰化检测装置包括气体洁净度检测装置时，所述气体洁净度检测装置包括气体采样管路和气体数据处理装置，所述气体采样管路设置于所述箱体出光侧上狭缝之外的位置，所述气体采样管路的数量为多个且多个所述气体采样管路均匀分布于所述箱体上；所述气体采样管路用于采集气体数据并将所述气体数据发送至所述气体数据处理装置，所述气体数据处理装置用于根据所述气体数据生成所述气体洁净度，若基于任一所述气体采样管路采集的气体数据生成的所述气体洁净度大于第一设定阈值时，则判断出所述目标基板上发生灰化；若所述灰化检测装置包括空气透过率检测装置时，所述空气透过率检测装置包括对射型光电传感器，所述对射型光电传感器设置于所述箱体出光侧上狭缝之外的位置。

全文数据：检测装置、工艺系统和检测方法技术领域[0001]本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种检测装置、工艺系统和检测方法。背景技术[0002]准分子激光退火（Excimerlaserannealing，简称ELA工艺是低温多晶桂（LowTemperaturePoly-silicon，简称LTPS工艺的重要组成部分。目前，该ELA工艺同样应用于柔性显示工艺中。目前的柔性显示工艺中，首先在玻璃衬底上涂布一层聚酰亚胺PolyimideFilm，简称PI膜层，然后在PI膜上沉积a-si膜层，之后利用ELA设备对a-si薄膜进行晶化。[0003]通常a-si膜层会出现厚度偏薄或者厚度不均匀的情况，那么在ELA工艺中部分a-si膜层容易出现退火过度的情况，此处位于该部分a-si膜层下方的PI膜层难以承受高能量激光照射，会出现薄膜灰化的情况，当出现薄膜灰化的情况时会伴有大量的颗粒particle广生，颗粒会广生飞派，从而造成设备严重污染，尤其是退火窗（annealingwindow污染报废。发明内容[0004]本发明提供一种检测装置、工艺系统和检测方法，用于避免了灰化产生的颗粒污染设备。[0005]为实现上述目的，本发明提供了一种检测装置，包括箱体和灰化检测装置，所述箱体的入光侧上设置有开口，所述开口上设置有窗体，所述箱体的出光侧上设置有狭缝；[0006]所述窗体用于将入射的照射光透射至所述狭缝；[0007]所述狭缝用于将所述照射光透射至位于所述箱体出光侧外部的目标基板上；[0008]所述灰化检测装置用于检测所述目标基板是否发生灰化。[0009]可选地，所述灰化检测装置包括气体洁净度检测装置和或空气透过率检测装置；[0010]所述气体洁净度检测装置用于检测出气体洁净度以判断目标基板上是否发生灰化；[0011]所述空气透过率检测装置用于检测出空气透过率以判断目标基板上是否发生灰化。[0012]可选地，所述气体洁净度检测装置包括气体采样管路，所述气体采样管路的一端设置于所述箱体上。[0013]可选地，所述气体采样管路设置于所述箱体出光侧上狭缝之外的位置。[0014]可选地，所述空气透过率检测装置包括对射型光电传感器。[0015]可选地，所述对射型光电传感器设置于所述箱体出光侧上狭缝之外的位置。[0016]可选地，所述对射型光电传感器包括发射端和接收端，所述发射端和所述接收端分别位于所述箱体出光侧的两端，所述发射端和所述接收端之间的连线与所述狭缝不交叉。[0017]为实现上述目的，本发明提供了一种工艺系统，包括发射装置、目标基板和上述检测装置，所述发射装置位于所述箱体的入光侧的外部，所述目标基板位于所述箱体的出光侧的外部；[0018]所述发射装置用于向所述窗体发射照射光。[0019]为实现上述目的，本发明提供了一种检测方法，所述检测方法基于检测装置，所述检测装置包括箱体和灰化检测装置，所述箱体的入光侧上设置有开口，所述开口上设置有窗体，所述箱体的出光侧上设置有狭缝；[0020]所述方法包括：[0021]所述窗体将入射的照射光透过至所述狭缝；[0022]所述狭缝将照射光透射至位于所述箱体出光侧外部的目标基板上；[0023]所述灰化检测装置检测所述目标基板是否发生灰化。[0024]可选地，所述灰化检测装置包括气体洁净度检测装置和或空气透过率检测装置；[0025]若所述灰化检测装置包括气体洁净度检测装置时，所述灰化检测装置检测所述目标基板是否发生灰化包括:所述气体洁净度检测装置检测出气体洁净度以判断目标基板上是否发生灰化;或者，[0026]若所述灰化检测装置包括空气透过率检测装置时，所述灰化检测装置检测所述目标基板是否发生灰化包括:所述空气透过率检测装置检测出空气透过率以判断目标基板上是否发生灰化;或者，[0027]若所述灰化检测装置包括气体洁净度检测装置和空气透过率检测装置时，所述灰化检测装置检测所述目标基板是否发生灰化包括:所述气体洁净度检测装置检测出气体洁净度以判断目标基板上是否发生灰化，以及所述空气透过率检测装置检测出空气透过率以判断目标基板上是否发生灰化。[0028]本发明具有以下有益效果：[0029]本发明提供的检测装置、工艺系统和检测方法的技术方案中，灰化检测装置可检测目标基板是否发生灰化，当灰化检测装置检测出目标基板发生灰化时可立即停止照射光照射到目标基板上，从而避免了灰化产生的颗粒污染设备。附图说明[0030]图1为本发明实施例一提供的一种检测装置的结构示意图；[0031]图2为图1中检测装置的另一视角示意图；[0032]图3为图1中检测装置的入光侧的示意图；[0033]图4为图3中检测装置的内部示意图；[0034]图5为本发明实施例三提供的一种检测方法的流程图。具体实施方式[0035]为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明提供的检测装置、工艺系统和检测方法进行详细描述。[0036]图1为本发明实施例一提供的一种检测装置的结构示意图，图2为图1中检测装置的另一视角不意图，图3为图1中检测装置的入光侧的示意图，图4为图3中检测装置的内部示意图，如图1至图4所示，该检测装置包括箱体1和灰化检测装置，箱体1的入光侧上设置有开口2，开口2上设置有窗体3，箱体1的出光侧上设置有狭缝4。[0037]窗体3用于将入射的照射光透射至狭缝。为便于展示箱体1内的结构以及开口2这一结构，图4中未示出窗体3,如图4所示，箱体1的一面即入光侧上开设有一个开口2,开设开口2的目的是为了便于设置窗体3。如图3所示，开口2上设置有窗体3,窗体3为透光结构，在箱体1的入光侧的外部即窗体3的外部设置有发射装置图中未示出），发射装置可向窗体3发射照射光以使照射光入射至窗体3上。窗体3可将入射的照射光透射至箱体1的内部，进而使照射光照射至箱体1的出光侧上的狭缝4。本实施例中，优选地，发射装置为激光发射装置，照射光为激光。本实施例中，窗体3为退火窗。窗体3可以起到密闭和透光的作用。[0038]狭缝4用于将照射光透射至位于箱体1出光侧外部的目标基板上。箱体1出光侧的外部设置有目标基板（图中未示出），例如，目标基板可包括衬底基板、PI膜层和a-si膜层，其中，PI膜层位于衬底基板之上，a-si膜层位于PI膜层之上。照射光照射至目标基板中的a-si膜层上以对a-si膜层进行晶化处理，具体地，可通过ELA工艺实现对a-si膜层的晶化处理。[0039]灰化检测装置用于检测目标基板是否发生灰化。具体地，目标基板是否发生灰化具体为：目标基板上的薄膜是否发生灰化。[0040]本实施例中，灰化检测装置可包括气体洁净度检测装置和或空气透过率检测装置。[0041]当灰化检测装置包括气体洁净度检测装置时，气体洁净度检测装置用于检测出气体洁净度以判断目标基板上是否发生灰化。气体洁净度为空气中空气含尘包括微生物量多少的程度。本实施例中，气体洁净度检测装置检测出的气体洁净度可用于判断目标基板上是否发生灰化。具体地，可判断气体洁净度是否大于第一设定阈值，若判断出气体洁净度大于第一设定阈值时表明检测到颗粒异常增加，从而确定出目标基板上发生灰化;若判断出气体洁净度小于或等于第一设定阈值时表明未检测到颗粒异常增加，从而确定出目标基板上未发生灰化。[0042]当灰化检测装置包括空气透过率检测装置时，空气透过率检测装置用于检测出空气透过率以判断目标基板上是否发生灰化。本实施例中，空气透过率检测装置检测出的空气透过率可用于判断目标基板上是否发生灰化。具体地，可判断空气透过率是否小于第二设定阈值，若判断出空气透过率小于第二设定阈值时表明空气透过率异常降低，从而确定出目标基板上发生灰化;若判断出空气透过率大于或等于第二设定阈值时表明空气透过率未异常降低，从而确定出目标基板上未发生灰化。[0043]当灰化检测装置包括气体洁净度检测装置和空气透过率检测装置时，气体洁净度检测装置和空气透过率检测装置中任一个检测出目标基板上发生灰化即可判断出目标基板上发生灰化。[0044]本实施例中，气体洁净度检测装置包括气体采样管路51，气体采样管路51的一端设置于箱体1上。优选地，气体采样管路51设置于箱体1出光侧上狭缝4之外的位置。气体采样管路51的数量可以为一个或者多个，本实施例中，气体采样管路51的数量为多个，多个气体采样管路5丨均匀分布于箱体1上，从而保证了在对目标基板进行小区域的照射光照射时也能检测到目标基板发生灰化，从而提高了检测的准确性。气体洁净度检测装置还包括气体数g处理装置（图中未示出），该气体数据处理装置与气体采样管路51连接，气体采样管路51采集气体数据并将气体数据发送至气体数据处理装置，气体数据处理装置可根据气体数据生成空气洁净度。换言之，本实施例中，可直接从气体数据处理装置上读取出空气洁净度，从而实现根据气体洁净度判断出目标基板是否发生灰化。当气体采样管路51的数量为多个时，每个气体采样管路51均可采集出气体数据，气体处理装置可根据每个气体数据生成对应的空气洁净度，因此可根据每个空气洁净度判断目标基板是否发生灰化，若根据其中任意一个空气洁净度判断出目标基板发生灰化则可确定出目标基板发生灰化。[0045]本实施例中，空气透过率检测装置包括对射型光电传感器。优选地，对射型光电传感器设置于箱体1出光侧上狭缝4之外的位置。具体地，对射型光电传感器包括发射端52和接收端53,发射端52和接收端53分别位于箱体1出光侧的两端，发射端51和接收端52之间的连线与狭缝4不交叉。本实施例中，发生端52和接收端53分别位于箱体1出光侧的两端，实现了使发射端51发出的光线能够穿过最大宽度的由于灰化而受污染空气的区域，从而易于检测出空气透过率。本实施例中，发射端51和接收端52之间的连线与狭缝4不交叉，发射端51和接收端f52与狭缝4之间具备一定的距离，从而保证了不影响狭缝4透射照射光。[0046]进一步地，箱体1上还设置有气体入口6。气体入口6用于向箱体1内部通入惰性气体，优选地，惰性气体为氮气N2。气体入口6向箱体1内部通入惰性气体，从而保证了激光退火的氛围。[0047]本实施例中，当判断出目标基板上发生灰化时可控制发射装置立即停止发射照射光，避免目标基板上进一步发生灰化。由于在污染初期阶段就停止了照射光的照射，从而极大的降低了对设备造成的污染，对设备造成的污染可以忽略不计。[0048]本实施例提供的检测装置中，灰化检测装置可检测目标基板是否发生灰化，当灰化检测装置检测出目标基板发生灰化时可立即停止照射光照射到目标基板上，从而避免了灰化产生的颗粒污染设备。[0049]本发明实施例二提供了一种工艺系统，该工艺系统包括发射装置、目标基板和检测装置，发射装置位于箱体的入光侧的外部，目标基板位于箱体的出光侧的外部。发射装置用于向窗体发射照射光。本实施例中，检测装置可采用上述实施例一提供的检测装置，此处不再赘述。[0050]本实施例提供的工艺系统中，灰化检测装置可检测目标基板是否发生灰化，当灰化检测装置检测出目标基板发生灰化时可立即停止照射光照射到目标基板上，从而避免了灰化产生的颗粒污染设备。[0051]图5为本发明实施例三提供的一种检测方法的流程图，如图5所示，检测方法基于检测装置，检测装置包括箱体和灰化检测装置，箱体的入光侧上设置有开口，开口上设置有窗体，箱体的出光侧上设置有狭缝。该方法包括：[0052]步骤101、窗体将入射的照射光透射至狭缝。[0053]步骤1〇2、狭缝将照射光透射至位于箱体出光侧外部的目标基板上。[0054]步骤103、灰化检测装置检测目标基板是否发生灰化。[0055]具体地，灰化检测装置包括气体洁净度检测装置和或空气透过率检测装置。[0056]若灰化检测装置包括气体洁净度检测装置时，所述灰化检测装置检测所述目标基板是否发生灰化包括:所述气体洁净度检测装置检测出气体洁净度以判断目标基板上是否发生灰化。[0057]若灰化检测装置包括空气透过率检测装置时，所述灰化检测装置检测所述目标基板是否发生灰化包括:所述空气透过率检测装置检测出空气透过率以判断目标基板上是否发生灰化。[0058]若灰化检测装置包括气体洁净度检测装置和空气透过率检测装置时，所述灰化检测装置检测所述目标基板是否发生灰化包括:所述气体洁净度检测装置检测出气体洁净度以判断目标基板上是否发生灰化，以及所述空气透过率检测装置检测出空气透过率以判断目标基板上是否发生灰化。此种情况下，气体洁净度检测装置和空气透过率检测装置可同时进行检测，当气体洁净度检测装置和空气透过率检测装置中任一个检测出目标基板上发生灰化即可判断出目标基板上发生灰化。[0059]本实施例提供的检测方法可通过上述实施例一提供的检测装置实现，对检测装置的描述可参见上述实施例一。[0060]本实施例提供的检测方法中，灰化检测装置可检测目标基板是否发生灰化，当灰化检测装置检测出目标基板发生灰化时可立即停止照射光照射到目标基板上，从而避免了灰化产生的颗粒污染设备。[0061]可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

权利要求：1.一种检测装置，其特征在于，包括箱体和灰化检测装置，所述箱体的入光侧上设置有开口，所述开口上设置有窗体，所述箱体的出光侧上设置有狭缝；所述窗体用于将入射的照射光透射至所述狭缝；所述狭缝用于将所述照射光透射至位于所述箱体出光侧外部的目标基板上；所述灰化检测装置用于检测所述目标基板是否发生灰化。2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述灰化检测装置包括气体洁净度检测装置和或空气透过率检测装置；所述气体洁净度检测装置用于检测出气体洁净度以判断目标基板上是否发生灰化；所述空气透过率检测装置用于检测出空气透过率以判断目标基板上是否发生灰化。3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述气体洁净度检测装置包括气体采样管路，所述气体采样管路的一端设置于所述箱体上。4.根据权利要求3所述的检测装置，其特征在于，所述气体采样管路设置于所述箱体出光侧上狭缝之外的位置。5.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述空气透过率检测装置包括对射型光电传感器。6.根据权利要求5所述的检测装置，其特征在于，所述对射型光电传感器设置于所述箱体出光侧上狭缝之外的位置。7.根据权利要求6所述的检测装置，其特征在于，所述对射型光电传感器包括发射端和接收端，所述发射端和所述接收端分别位于所述箱体出光侧的两端，所述发射端和所述接收端之间的连线与所述狭缝不交叉。8.—种工艺系统，其特征在于，包括发射装置、目标基板和权利要求1至7任一所述的检测装置，所述发射装置位于所述箱体的入光侧的外部，所述目标基板位于所述箱体的出光侧的外部；所述发射装置用于向所述窗体发射照射光。9.一种检测方法，其特征在于，所述检测方法基于检测装置，所述检测装置包括箱体和灰化检测装置，所述箱体的入光侧上设置有开口，所述开口上设置有窗体，所述箱体的出光侧上设置有狭缝；所述方法包括：所述窗体将入射的照射光透过至所述狭缝；所述狭缝将照射光透射至位于所述箱体出光侧外部的目标基板上；所述灰化检测装置检测所述目标基板是否发生灰化。10.根据权利要求9所述的检测方法，其特征在于，所述灰化检测装置包括气体洁净度检测装置和或空气透过率检测装置；若所述灰化检测装置包括气体洁净度检测装置时，所述灰化检测装置检测所述目标基板是否发生灰化包括:所述气体洁净度检测装置检测出气体洁净度以判断目标基板上是否发生灰化;或者，若所述灰化检测装置包括空气透过率检测装置时，所述灰化检测装置检测所述目标基板是否发生灰化包括:所述空气透过率检测装置检测出空气透过率以判断目标基板上是否发生灰化;或者，若所还狄化恆测装置包括气体洁净度检测装置和空气透过率检测装置H、」，别此久礼值测装置检测所述目标基板是否发生灰化包括:所述气体洁净度检测装置检测出气体洁净度以判断目标基板上是否发生灰化，以及所述空气透过率检测装置检测出空气透过率以判断目标基板上是否发生灰化。

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