申请/专利权人：辛耘企业股份有限公司

申请日：2020-10-16

公开（公告）日：2021-04-06

公开（公告）号：CN212907698U

主分类号：H01L21/687(20060101)

分类号：H01L21/687(20060101);H01L21/67(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.04.06#授权

摘要：一种基板旋转固持装置，包含旋转机构及多个支撑单元。旋转机构包括具有承载面的旋转座。支撑单元布设于承载面用以共同支撑并固持基板。每一支撑单元包括座体、安装部、支撑部，及两个限位部。座体具有底面及顶面，安装部自底面延伸并连接旋转座，支撑部及限位部设于顶面，支撑部具有用以供基板的背面靠抵的接触弧面，所述限位部彼此相间隔且相较于支撑部远离承载面的中心以供基板的周缘靠抵。通过支撑部及限位部的配置能够使基板与支撑单元的接触区域容易干燥，且能扩张支撑单元之间可供放置基板的范围，以增加传送基板时的容许误差。

主权项：1.一种基板旋转固持装置，适用于固持基板并带动该基板旋转，其特征在于：该基板旋转固持装置包含：旋转机构，包括旋转座，该旋转座具有承载面；及多个支撑单元，布设于该承载面，用以共同支撑并固持该基板，每一支撑单元包括座体、安装部、支撑部，及两个限位部，该座体具有位于相反两侧的底面及顶面，该安装部自该底面延伸并连接该旋转座，该支撑部及所述限位部设于该顶面，该支撑部具有用以供该基板的背面靠抵的接触弧面，所述限位部彼此相间隔且相较于该支撑部远离该承载面的中心以供该基板的周缘靠抵。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 辛耘企业股份有限公司 基板旋转固持装置

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