申请/专利权人：长鑫存储技术有限公司

申请日：2019-09-24

公开（公告）日：2021-04-09

公开（公告）号：CN112628139A

主分类号：F04C18/00(20060101)

分类号：F04C18/00(20060101);F04C23/00(20060101);F04C29/12(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.04.27#实质审查的生效;2021.04.09#公开

摘要：本发明涉及一种真空泵减压装置和减压真空泵，该真空泵减压装置设有进气通道端、排气通道端和减压腔，通过在减压腔设置气体加速模块，使气体加速区内的气体流速大于气体流入区内的气体流速，根据伯努利原理气体流速越大，压强越小，通过速度变化，使原本压强相近的进气通道端和排气通道端产生正压强差，两端产生的压强差带动进气通道端的气体流速变大。从而缓解了进气通道端的排气阻力，使真空泵的转子转动速率下降，从而预防了真空泵的过度磨损，延长了真空泵的使用寿命。

主权项：1.真空泵减压装置，其特征在于，所述真空泵减压装置设有：进气通道端；排气通道端；减压腔，所述减压腔连接所述进气通道端和所述排气通道端，所述减压腔内设有预定气流路径，所述进气通道端输出的气体沿所述预定气流路径进入所述排气通道端，且所述进气通道端与所述排气通道端存在正压强差。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 长鑫存储技术有限公司 真空泵减压装置和减压真空泵

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