申请/专利权人：东京毅力科创株式会社

申请日：2019-09-03

公开（公告）日：2021-04-09

公开（公告）号：CN112640060A

主分类号：H01L21/3065(20060101)

分类号：H01L21/3065(20060101);H01L21/683(20060101);H02N13/00(20060101);H05H1/46(20060101)

优先权：["20180914 JP 2018-172696"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.07.02#实质审查的生效;2021.04.09#公开

摘要：提供一种基板支承体，其包括：基台；静电吸盘，用于放置基板；电极，设置于所述静电吸盘；所述电极的接点部；粘接层，在所述基台上将所述静电吸盘与所述基台粘接，并且不覆盖所述接点部；以及供电端子，以不被固定于所述电极的接点部的方式与所述电极的接点部接触。

主权项：1.一种基板支承体，包括：基台；静电吸盘，用于放置基板；电极，设置于所述静电吸盘；所述电极的接点部；粘接层，在所述基台上将所述静电吸盘与所述基台粘接，并且不覆盖所述接点部；以及供电端子，以不被固定于所述电极的接点部的方式与所述电极的接点部接触。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东京毅力科创株式会社 基板支承体及基板处理装置

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