申请/专利权人：TDK株式会社

申请日：2020-10-09

公开（公告）日：2021-04-09

公开（公告）号：CN112635373A

主分类号：H01L21/677(20060101)

分类号：H01L21/677(20060101)

优先权：["20191007 JP 2019-184751"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.04.27#实质审查的生效;2021.04.09#公开

摘要：本发明提供能够防止在打开晶圆搬运容器的盖部时内部的气体从连结部分向外部漏出的问题的装载端口装置及装载端口装置的驱动方法等。一种装载端口装置，将晶圆搬运容器的主开口连结于框架开口，具有：载置部，其具有设置上述晶圆搬运容器并相对于上述框架开口相对移动的载置台；框架部，其从上述载置部向上方直立，并形成有上述框架开口；凸缘夹部，其具有：卡合部，其能够卡合于包围上述主开口的外周的凸缘部；以及驱动部，其在上述卡合部进行将上述卡合部卡合于上述凸缘部的卡合动作和将上述卡合部从上述凸缘部脱离的脱离动作；以及检测部，其能够将上述凸缘夹部进行的上述卡合动作至少区别为正常卡合动作和异常卡合动作而进行检测。

主权项：1.一种装载端口装置，其特征在于，是将晶圆搬运容器的主开口连结于框架开口的装载端口装置，具有：载置部，其具有设置所述晶圆搬运容器并相对于所述框架开口相对移动的载置台；框架部，其从所述载置部向上方直立，并形成有所述框架开口；凸缘夹部，其具有：卡合部，其能够卡合于包围所述主开口的外周的凸缘部；以及驱动部，其在所述卡合部进行将所述卡合部卡合于所述凸缘部的卡合动作和将所述卡合部从所述凸缘部脱离的脱离动作；以及检测部，其能够将所述凸缘夹部所进行的所述卡合动作至少区别为正常卡合动作和异常卡合动作而进行检测。

全文数据：

权利要求：

百度查询： TDK株式会社 装载端口装置及装载端口装置的驱动方法

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