申请/专利权人：中国人民解放军国防科技大学

申请日：2021-03-29

公开（公告）日：2021-04-27

公开（公告）号：CN112710455A

主分类号：G01M11/02(20060101)

分类号：G01M11/02(20060101);G01N21/95(20060101);G01B11/16(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.06.04#授权;2021.05.14#实质审查的生效;2021.04.27#公开

摘要：一种同时测量光学元件反射透射畸变差的方法及装置，探测光源入射至第一半透半反镜，第一半透半反镜与待测样品平行，经第一半透半反镜透射出的透射光作为探测光，探测光入射至待测样品，经过待测样品后分为反射光和透射光，反射光和透射光其对应的光路分别称之为反射臂和透射臂，透射臂上的光束经第一光程差调节机构、第一反射镜后入射到第二半透半反镜；反射臂上的光束经第三半透半反镜反射出的光束入射到第二半透半反镜，与入射到第二半透半反镜上的透射臂上的光束干涉，由第一相机采集成像为干涉条纹。本发明可实时在线定量反推强光光学元件前后表面的形变，结果准确，并且可以利用单个相机测量透射光和反射光之间的光程差。

主权项：1.一种同时测量光学元件反射透射畸变差的装置，其特征在于：包括探测光源、第一半透半反镜、第二半透半反镜、第三半透半反镜、第一光程差调节机构、第一反射镜和第一相机；探测光源入射至第一半透半反镜，第一半透半反镜与待测样品平行，经第一半透半反镜透射出的透射光作为探测光，探测光以45°的入射角入射至待测样品，经过待测样品后又分为反射光和透射光两路光束，反射光和透射光其对应的光路分别称之为反射臂和透射臂，透射臂上依次设置有第一光程差调节机构、第一反射镜以及第二半透半反镜，透射臂上的光束经第一光程差调节机构、第一反射镜后入射到第二半透半反镜；反射臂上的光束经第三半透半反镜反射出的光束入射到第二半透半反镜，与入射到第二半透半反镜上的透射臂上的光束干涉，所形成的第一干涉光由第一相机采集成像为干涉条纹。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国人民解放军国防科技大学 一种同时测量光学元件反射透射畸变差的方法及装置

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