申请/专利权人：中国恩菲工程技术有限公司

申请日：2021-03-02

公开（公告）日：2021-05-07

公开（公告）号：CN112758935A

主分类号：C01B33/03(20060101)

分类号：C01B33/03(20060101);C01B3/56(20060101);C01B3/50(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.09.30#授权;2021.05.25#实质审查的生效;2021.05.07#公开

摘要：本申请提供一种用于多晶硅生产的氢气循环系统。该氢气循环系统包括：第一氢气循环子系统，与第一氢气循环子系统中的第一氢气储存装置相连接的第一氢气纯化装置；与所述第一氢气纯化装置相连接的第二氢气循环子系统。本申请的氢气循环系统适用于太阳能级多晶硅、电子级多晶硅、区熔级多晶硅共存的生产，可以为太阳能级多晶硅、电子级多晶硅、区熔级多晶硅的生产分别提供满足不同要求的氢气源。

主权项：1.一种用于多晶硅生产的氢气循环系统，其特征在于，所述氢气循环系统包括：-第一氢气循环子系统，所述第一氢气循环子系统包括第一还原炉，第一氯硅烷分离装置，第一氯化氢分离装置，第一氢气吸附净化装置，第一氢气储存装置；其中，所述第一还原炉、所述第一氯硅烷分离装置、所述第一氯化氢分离装置、所述第一氢气吸附净化装置以及第一氢气储存装置依序相连接，且所述第一氢气储存装置还与所述第一还原炉相连接；-与所述第一氢气储存装置相连接的第一氢气纯化装置；-与所述第一氢气纯化装置相连接的第二氢气循环子系统，所述第二氢气循环子系统包括：第二还原炉，第二氯硅烷分离装置，第二氯化氢分离装置，第二氢气吸附净化装置，第二氢气纯化装置，第二氢气储存装置；其中，所述第二氢气循环子系统中的第二氢气储存装置与所述第一氢气纯化装置相连接；所述第二还原炉、所述第二氯硅烷分离装置、所述第二氯化氢分离装置、所述第二氢气吸附净化装置、第二氢气纯化装置以及第二氢气储存装置依序相连接，且所述第二氢气储存装置还与所述第二还原炉相连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国恩菲工程技术有限公司 一种用于多晶硅生产的氢气循环系统

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