申请/专利权人：安捷伦科技有限公司

申请日：2019-07-24

公开（公告）日：2021-05-07

公开（公告）号：CN112771369A

主分类号：G01N21/552(20060101)

分类号：G01N21/552(20060101)

优先权：["20180930 US 16/147,826"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.05.25#实质审查的生效;2021.05.07#公开

摘要：公开了一种ATR扫描仪80及其校准方法。所述扫描仪包括具有反射面和光学端口的ATR物镜67，所述光学端口适于接收第一光束，并将第一光束聚焦到反射面上的位置处的一点，使得第一光束被反射面反射，并且第一光束没有任何部分以大于临界角的角度撞击反射面。检测器63b测量从反射面反射的光的强度。控制器69控制焦点的位置，并确定作为反射面上的位置的函数的入射到反射面上的光的强度以及作为反射面上的位置的函数的从反射面反射的光的强度。

主权项：1.一种扫描仪，包括：ATR物镜，其包括：第一光学元件，其包括反射面，所述反射面由临界角表征；和光学端口，其适于接收第一光束，并将所述第一光束聚焦到由所述反射面上的位置和波长表征的点，使得所述第一光束被所述反射面反射，并且所述第一光束没有任何部分以大于所述临界角的角度撞击所述反射面；检测器，其测量从所述反射面反射的光的强度；扫描系统，其控制所述位置；和控制器，其控制所述扫描系统，并确定作为所述位置的函数的入射到所述反射面上的光的强度以及作为所述反射面上的位置的函数的从所述反射面反射的光的强度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 安捷伦科技有限公司 用于衰减全反射光谱的校准系统

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