申请/专利权人：埃克诺新材料(大连)有限公司

申请日：2020-10-20

公开（公告）日：2021-06-08

公开（公告）号：CN213396478U

主分类号：F27B5/05(20060101)

分类号：F27B5/05(20060101);F27B5/06(20060101);F27B5/14(20060101);F27D1/18(20060101);F27D11/00(20060101);H05B6/64(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.06.08#授权

摘要：本实用新型公开一种氮化硅烧结炉。本实用新型提供一种氮化硅烧结炉，包括：其特征在于，包括：底座、驱动装置烧结室、微波加热装置以及可拆卸式烧结罐。通过设置底座、驱动装置、烧结室、微波加热装置以及可拆卸式烧结罐，可拆卸式烧结罐可以插在驱动装置的转轴上，使得转轴上的搅拌叶片伸入罐体内部，通过驱动装置带动转轴转动从而对罐体内的原料进行搅拌，烧结室底部设置有微波加热装置，可以利用微波进行氮化硅的烧结。罐体可以灵活从烧结室中取出，便于装料和卸料以及维护，微波加热装置加热温度场均匀，热应力小，适宜于快速烧结。

主权项：1.一种氮化硅烧结炉，包括：其特征在于，包括：底座1、驱动装置2、烧结室3、微波加热装置4以及可拆卸式烧结罐5；所述驱动装置2和所述烧结室3设置于所述底座1上，所述微波加热装置4设置于所述烧结室3下方，所述驱动装置2设置有转轴21，所述转轴21外周面设置有三个搅拌叶片22，三个搅拌叶片22围绕转轴21的轴线呈圆周均匀分布；所述烧结室3包括烧结室腔体31、烧结室门32以及烧结室门固定组件33，所述转轴21穿过所述烧结室3的一端伸入所述烧结室腔体31的内部，所述搅拌叶片22位于所述烧结室腔体31内，所述烧结室门32铰接于所述烧结室腔体31的另一端，所述烧结室门固定组件33连接于所述烧结室门32的自由端，所述烧结室门固定组件33包括L型板331、转动连接件332以及定位销333，所述L型板331的一端通过所述转动连接件332转动连接于所述烧结室门32上，所述定位销333穿过所述L型板331插入所述烧结室腔体31的定位孔上；所述烧结室腔体31内部底面设置有烧结罐支架34；所述可拆卸式烧结罐5呈空心圆柱状，所述可拆卸式烧结罐5包括罐体51、第一端盖52以及第二端盖53，所述第一端盖52可拆卸连接于所述罐体51的一端，所述第二端盖53可拆卸连接于所述罐体51的另一端，所述第一端盖52上设置有第一圆形通孔521、第一条状通孔522以及弧状凹槽523，所述第一圆形通孔521设置于所述第一端盖52的中心，三个所述第一条状通孔522围绕所述第一圆形通孔521呈圆形均匀分布，所述第一圆形通孔521和第一条状通孔522连通，三个弧状凹槽523围绕所述第一圆形通孔521呈圆形均匀分布且与三个所述第一条状通孔522交错设置，所述烧结室腔体31一端内壁设置有与三个弧状凹槽523相匹配的三个弧状定位凸块311；所述第二端盖53上设置有第二圆形通孔531和第二条状通孔532，所述第二圆形通孔531设置于所述第二端盖53的中心，三个所述第二条状通孔532围绕所述第二圆形通孔531呈圆形均匀分布；所述可拆卸式烧结罐5位于所述烧结室腔体31内，所述可拆卸式烧结罐5设置于所述烧结罐支架34上，所述转轴21位于所述第一圆形通孔521和第二圆形通孔531内，所述搅拌叶片22位于所述罐体51内部。

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