申请/专利权人:深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
申请日:2020-12-04
公开(公告)日:2021-09-21
公开(公告)号:CN214250551U
主分类号:F27B17/00(20060101)
分类号:F27B17/00(20060101);F27D11/02(20060101);F27D19/00(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2021.09.21#授权
摘要:本实用新型公开了一种绕丝结构,包括炉丝,所述炉丝由炉口辅热区炉丝、恒温区炉丝和炉尾辅热区炉丝构成,所述炉口辅热区炉丝、恒温区炉丝以及炉尾辅热区炉丝在轴向分别由多组温区炉丝构成,至少一组温区炉丝在圆周方向由至少两组分区构成,各分区分别与电路连接,电路控制各分区所在区域的温度,本实用新型将炉丝的炉口辅热区炉丝、恒温区炉丝和炉尾辅热区炉丝的温区炉丝进行温度控制,保证了炉内产品整体温度的均匀性,大大提高了控温能力,本实用新型将至少一组温区炉丝细分成2‑4个分区,每一分区设定相应的功率,通过热电偶控制功率,使硅片组处于优化的温度场,从而实现了硅片组温度的均匀控制。
主权项:1.一种绕丝结构,其特征在于:包括炉丝,所述炉丝由炉口辅热区炉丝、恒温区炉丝和炉尾辅热区炉丝构成,所述炉口辅热区炉丝、恒温区炉丝以及炉尾辅热区炉丝在轴向分别由多组温区炉丝构成,至少一组温区炉丝在圆周方向由至少两组分区构成,各分区分别与电路连接,电路控制各分区所在区域的温度。
全文数据:
权利要求:
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