申请/专利权人：上海华力微电子有限公司

申请日：2022-05-30

公开（公告）日：2022-09-06

公开（公告）号：CN115020285A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.09.23#实质审查的生效;2022.09.06#公开

摘要：本发明提供一种WAT测试装置的检测方法及检测系统，该检测方法包括以下步骤：将多个待测试晶片划分成至少两个批次，并在每个待测试晶片上设置多个检测点，其中每一批次均包括预设数量的待测试晶片；采用待检测WAT测试装置分别对每一个批次的所有待测试晶片进行检测，以获取每一个检测点的第一测试值；针对每一个批次，根据该批次的所有待测试晶片上的所有检测点的第一测试值以及第一阈值和第二阈值，判断该批次是否异常，其中第一阈值小于第二阈值；若连续至少两个批次的判定结果为异常，则判定待检测WAT测试装置存在异常。本发明通过分析不同批次产品的WAT数据并关联WAT测试装置，能够快速、有效地找到异常WAT测试装置，减少对产品的影响。

主权项：1.一种WAT测试装置的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S100：将多个待测试晶片划分成至少两个批次，并在每个所述待测试晶片上设置多个检测点，其中每一批次均包括预设数量的所述待测试晶片；步骤S200：采用待检测WAT测试装置分别对每一个批次的所有待测试晶片进行检测，以获取每一个所述检测点的第一测试值；步骤S300：针对每一个批次，根据该批次的所有待测试晶片上的所有检测点的所述第一测试值以及第一阈值和第二阈值，判断该批次是否异常，其中所述第一阈值小于所述第二阈值；步骤S400：若连续至少两个批次的判定结果为异常，则判定所述待检测WAT测试装置存在异常。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海华力微电子有限公司 WAT测试装置的检测方法及系统

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