申请/专利权人：株式会社岛津制作所

申请日：2021-03-18

公开（公告）日：2022-09-27

公开（公告）号：CN115111422A

主分类号：F16K31/04

分类号：F16K31/04

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.10.18#实质审查的生效;2022.09.27#公开

摘要：本发明提供一种阀控制装置以及推断装置，阀控制装置可谋求调压控制的精度提升。在阀控制装置1b中，运算部210在朝腔室导入气体时将阀体12的开度θr固定成一定，并基于阀体12的开度θr已被固定成一定时的压力测量值Pr的变化信息，推断真空阀1的排气信息。而且，调压控制部21基于所述排气信息来控制阀体12的开度，进行腔室的调压控制。

主权项：1.一种阀控制装置，是基于安装有真空阀的腔室的压力测量值与所述腔室的压力目标值来控制阀体开度，进行所述腔室的调压的阀控制装置，其中，包括：开度设定部，在朝所述腔室导入气体时将所述阀体开度固定成一定；以及推断部，基于所述阀体开度已被固定成一定时的所述压力测量值的变化信息，推断所述真空阀的排气信息；所述阀控制装置基于所述排气信息来控制所述阀体开度，进行所述腔室的调压控制。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社岛津制作所 阀控制装置以及推断装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD