申请/专利权人:三星电子株式会社
申请日:2022-05-25
公开(公告)日:2022-11-29
公开(公告)号:CN115411063A
主分类号:H01L27/22
分类号:H01L27/22;H01L43/08
优先权:["20210527 KR 10-2021-0068636"]
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.09#实质审查的生效;2022.11.29#公开
摘要:公开了一种磁性存储器件,其包括依次堆叠在衬底上的被钉扎磁性图案和自由磁性图案、在被钉扎磁性图案和自由磁性图案之间的隧道势垒图案、在自由磁性图案上的顶电极、以及在自由磁性图案和顶电极之间的盖图案。盖图案包括下盖图案、在下盖图案和顶电极之间的上盖图案、在下盖图案和上盖图案之间的第一非磁性图案、以及在第一非磁性图案和上盖图案之间的第二非磁性图案。下盖图案和上盖图案中的每个包括非磁性金属。第一非磁性图案和第二非磁性图案包括彼此不同的金属。
主权项:1.一种磁性存储器件,包括:依次堆叠在衬底上的被钉扎磁性图案和自由磁性图案;在所述被钉扎磁性图案和所述自由磁性图案之间的隧道势垒图案;在所述自由磁性图案上的顶电极;以及在所述自由磁性图案和所述顶电极之间的盖图案,其中所述盖图案包括:下盖图案;在所述下盖图案和所述顶电极之间的上盖图案;在所述下盖图案和所述上盖图案之间的第一非磁性图案;以及在所述第一非磁性图案和所述上盖图案之间的第二非磁性图案,所述下盖图案和所述上盖图案中的每个包括非磁性金属,以及所述第一非磁性图案和所述第二非磁性图案包括彼此不同的金属。
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