申请/专利权人：苏州联诺太阳能科技有限公司

申请日：2020-10-26

公开（公告）日：2023-01-06

公开（公告）号：CN112359332B

主分类号：C23C14/34

分类号：C23C14/34;C23C14/56;C23C14/54;C23C14/08;H01L31/18;H01L31/20

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.01.06#授权;2021.03.05#实质审查的生效;2021.02.12#公开

摘要：本申请涉及一种太阳能电池的制作方法以及制作设备。其中，太阳能电池的制作方法，用于提高太阳能电池的抗水性能，包括：提供基片；将基片传输至工艺腔室；对基片进行镀膜，以形成具有多晶结构的透明导电薄膜。本申请可以有效提高太阳能电池的抗水性能。

主权项：1.一种太阳能电池的制作方法，用于提高所述太阳能电池及其组件的抗水性能，其特征在于，包括：提供基片；将所述基片传输至工艺腔室；对所述基片进行镀膜，以在P型半导体层和或N型半导体层的表面形成具有多晶结构的透明导电薄膜，所述多晶结构的透明导电薄膜相对于非晶结构的透明导电膜具有更高的抗水性，从而提高所述太阳能电池的抗水性能；所述将所述基片传输至工艺腔室，包括：将所述基片由外部传输至预处理腔室；对所述预处理腔室进行除水处理，去除所述基片表面水分，且对所述预处理腔室对水分含量进行实时监控；将所述基片由所述预处理腔室传输至所述工艺腔室；检测所述工艺腔室内的水分含量；当检测到水分含量在小于1×10-6mbar范围内时，镀膜工作开始，形成所述多晶结构的透明导电薄膜。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州联诺太阳能科技有限公司 太阳能电池的制作方法以及制作设备

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