申请/专利权人：深圳格芯集成电路装备有限公司

申请日：2020-05-21

公开（公告）日：2023-01-24

公开（公告）号：CN111721778B

主分类号：G01N21/956

分类号：G01N21/956;B65G47/90;B65G47/52;B65G23/04

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.01.24#授权;2020.10.27#实质审查的生效;2020.09.29#公开

摘要：本发明涉及芯片检测领域，具体涉及了一种芯片缺陷立式视觉检测设备，料盒输送机构的上料装置将待检测的料盒输送至料盒装填机构，料盒装填机构的料盒夹爪夹持料盒并使得料盒内料条与料条输送机构的料条夹爪对齐，料条夹爪夹持料条并使得料条沿第一装夹部件和第二装夹部件运动至待检测位置，第一装夹部件和第二装夹部件夹紧料条以待芯片视觉检测，检测机构的相机对料条进行拍摄并通过现有的计算机图像识别软件对料条上的金线进行检测，替代了传统的人工金线检测，提升了芯片料条的金线检测效率和检测准确度，同时，料条在视觉检测时处于检测基准面，该检测基准面与水平面的夹角为60～70°，最大程度地减少轻薄的料条在重力的作用下产生的弯曲变形。

主权项：1.一种芯片缺陷立式视觉检测设备，其特征在于，包括机架以及设于所述机架上的料盒输送机构、料盒装填机构、料条输送机构、料条装夹机构和检测机构；所述料盒输送机构包括层叠设置的上料装置和下料装置，所述上料装置的出料侧与所述料盒装填机构相对设置，所述下料装置的进料侧与所述料盒装填机构相对设置；所述料盒装填机构包括连接于所述机架的第一驱动装置以及设于所述第一驱动装置的活动端的料盒夹爪；所述料条输送机构包括连接于所述机架的第二驱动装置以及设于所述第二驱动装置的活动端的料条夹爪；所述料条装夹机构包括活动相连接的第一装夹部件和第二装夹部件，所述料条夹爪位于所述第一装夹部件和第二装夹部件之间，所述第一装夹部件和第二装夹部件相向运动或相背运动以适应多个规格尺寸的料条，位于所述第一装夹部件和第二装夹部件之间的所述料条处于检测基准面，所述检测基准面与水平面的夹角为60～70°；所述检测机构包括相机，所述相机与所述料条装夹机构相对设置。

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权利要求：

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