申请/专利权人：芯达半导体设备(苏州)有限公司

申请日：2022-10-17

公开（公告）日：2023-03-17

公开（公告）号：CN115346882B

主分类号：H01L21/48

分类号：H01L21/48;H01L21/67;H01L21/66;H01L23/488

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.03.17#授权;2022.12.02#实质审查的生效;2022.11.15#公开

摘要：本发明涉及半导体技术领域，提供了一种铟柱起球控制方法、装置和设备。所述方法包括控制旋涂单元的旋转驱动机构动作，带动晶圆跟随所述旋转驱动机构进行旋转；当旋转驱动机构达到预设转速时，将甘油混合溶液喷涂至晶圆上表面的中心位置；若处于晶圆表面的甘油混合溶液覆盖全部晶圆表面，则控制旋涂单元停止甘油混合溶液的喷涂以及停止旋转驱动机构；在旋转驱动机构处于停止状态后，控制机器人手臂将表面覆盖甘油混合溶液的晶圆依次进行送入烘烤单元和清洗单元进行烘烤和清洗。本发明操作过程简单，能够实现铟柱自动起球，反应后只需要对晶圆的一个面进行清洗即可。

主权项：1.一种铟柱起球控制方法，应用于机器人控制器，其特征在于，包括：响应于启动信号，控制旋涂单元的旋转驱动机构动作，带动晶圆跟随所述旋转驱动机构进行旋转；所述启动信号为在所述晶圆放置于所述旋涂单元内且处于真空吸附状态后由所述旋涂单元生成；当所述旋转驱动机构达到预设转速时，控制所述旋涂单元将甘油混合溶液喷涂至晶圆上表面的中心位置；判断处于所述晶圆表面的甘油混合溶液是否覆盖全部晶圆表面，若是，则控制所述旋涂单元停止甘油混合溶液的喷涂以及停止所述旋转驱动机构；否则保持当前工作状态；在所述旋转驱动机构处于停止状态后，控制机器人手臂将表面覆盖甘油混合溶液的晶圆从所述旋涂单元取出，送入烘烤单元进行烘烤，使覆盖于晶圆表面的甘油混合溶液与所述晶圆表面的铟柱进行反应；当达到预设反应时间后，控制机器人手臂将反应后的晶圆从所述烘烤单元取出，送入清洗单元进行清洗；当达到预设清洗时间后，控制机器人手臂将清洗后的晶圆从所述清洗单元取出，送至片盒；所述判断处于所述晶圆表面的甘油混合溶液是否覆盖全部晶圆表面，包括：获取所述晶圆表面图像；判断所述晶圆表面图像中是否存在非边缘纹理特征；若存在，则认为处于所述晶圆表面的甘油混合溶液并未覆盖全部晶圆表面；否则，认为处于所述晶圆表面的甘油混合溶液覆盖全部晶圆表面；所述判断所述晶圆表面图像中是否存在非边缘纹理特征，包括：根据轮廓提取算法对所述晶圆的边缘轮廓进行提取，得到所述晶圆的边缘纹理；判断所述晶圆的边缘纹理内是否存在甘油混合溶液边缘纹理特征，若存在，则将所述甘油混合溶液边缘纹理特征作为非边缘纹理特征；否则，所述晶圆表面图像中不存在非边缘纹理特征。

全文数据：

权利要求：

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