申请/专利权人：无锡赛思一科技有限公司

申请日：2022-11-16

公开（公告）日：2023-03-21

公开（公告）号：CN218674756U

主分类号：G01N21/84

分类号：G01N21/84;G01N21/01;G01N21/13;B08B5/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.03.21#授权

摘要：本实用新型涉及硅片寿命测试设备技术领域，具体为一种硅片寿命测试设备，其能够有效提高检测精准度，包括传送台和支撑架，传送台的顶部放置有承载台，承载台的顶部设置有放置槽，放置槽的内部放置有硅片，承载台的侧壁上设置有检测块，支撑架的顶部设置有补光灯，支撑架的中部设置有显微摄像头，传送台的侧壁上设置有第一固定块和第二固定块，第一固定块上设置有传感器，第二固定块上设置有喷头，喷头上设置有电磁阀，喷头的一端设置有输送管，输送管的一端设置有气泵，传送台上设置有控制器，控制器的内部设置有自动控制系统和计时器，传送台的驱动装置、传感器、电磁阀、补光灯、显微摄像头均和控制器通过导线电性连接。

主权项：1.一种硅片寿命测试设备，包括传送台1和支撑架2，其特征在于：所述传送台1的顶部放置有承载台3，所述承载台3的顶部设置有放置槽4，所述放置槽4的内部放置有硅片5，所述承载台3的侧壁上设置有检测块6，所述支撑架2的顶部设置有补光灯7，所述支撑架2的中部设置有显微摄像头8，所述传送台1的侧壁上设置有第一固定块9和第二固定块11，所述第一固定块9上设置有传感器10，所述第二固定块11上设置有喷头12，所述喷头12上设置有电磁阀13，所述喷头12的一端设置有输送管14，所述输送管14的一端设置有气泵15，所述传送台1上设置有控制器16。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 无锡赛思一科技有限公司 一种硅片寿命测试设备

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