申请/专利权人：广州市尤特新材料有限公司

申请日：2023-02-17

公开（公告）日：2023-03-28

公开（公告）号：CN115852327A

主分类号：C23C14/35

分类号：C23C14/35;C22C5/02;C22C1/06;C22C1/04;C22F1/14;B22F1/14;B22F1/142

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.06.02#授权;2023.04.14#实质审查的生效;2023.03.28#公开

摘要：本发明公开了一种香槟色薄膜用靶材，包括以下重量百分比原料：Ag1.2‑1.6%、Al0.1‑0.6%、Fe0.2‑0.5%、In0.2‑0.4%、淬火改性剂0.1‑0.3%、钛粉细化剂0.1‑0.2%、余量为Au。本发明由一种金为主要材料的靶材，主要应用于真空炉内镀膜手表、手机壳、首饰及装饰产品领域；采用本发明的香槟色金靶材应用于真空磁控溅射镀膜技术中，由其制备的薄膜色泽光亮柔和，膜层表面硬度高、耐磨性好且具有及佳的抗氧化性能。

主权项：1.一种香槟色薄膜用靶材，其特征在于，包括以下重量百分比原料：Ag1.2-1.6%、Al0.1-0.6%、Fe0.2-0.5%、In0.2-0.4%、淬火改性剂0.1-0.3%、钛粉细化剂0.1-0.2%、余量为Au；所述淬火改性剂的制备方法为：S1：将Si粉、稀土镧粉按照重量比2:3混合，然后置于500-600℃下烧结10-20min，烧结压力为10-15MPa，烧结结束，得到烧结料；S2：将烧结料送入到研磨机中进行研磨，研磨过100-150目，得到研磨料；S3：将研磨料送入到等离子体箱内进行处理，处理结束，等离子体料；S4：将等离子体料采用热均化工艺处理，处理结束，得到淬火改性剂。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广州市尤特新材料有限公司 一种香槟色薄膜用靶材及其制备方法

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