申请/专利权人:爱思开海力士有限公司
申请日:2019-12-30
公开(公告)日:2023-05-26
公开(公告)号:CN111627885B
主分类号:H01L23/50
分类号:H01L23/50;H10B12/00
优先权:["20190228 KR 10-2019-0024083"]
专利状态码:有效-授权
法律状态:2023.05.26#授权;2020.09.29#实质审查的生效;2020.09.04#公开
摘要:一种存储器件,包括:衬底;相对于衬底垂直取向的位线;相对于衬底垂直取向的板线;以及存储单元,被提供有按照横向布置置于位线与板线之间的晶体管和电容器,其中该晶体管包括:有源层,其在位线和电容器之间横向取向为平行于衬底;以及线形下字线和线形上字线,其与它们之间的有源层垂直地层叠以及取向为与有源层相交。
主权项:1.一种存储器件,包括:衬底;位线,相对于所述衬底垂直取向;板线,与所述位线间隔开并相对于所述衬底垂直取向;以及存储单元,包括按照横向布置置于所述位线与所述板线之间的晶体管和电容器,其中,所述晶体管包括:有源层,在所述位线与所述电容器之间横向取向为平行于所述衬底;以及线形下字线和线形上字线,与在所述线形下字线和所述线形上字线之间的所述有源层垂直地层叠,以及取向为与所述有源层相交。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 爱思开海力士有限公司 垂直存储器件
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