申请/专利权人:赛维LDK太阳能高科技(新余)有限公司
申请日:2021-03-05
公开(公告)日:2023-07-28
公开(公告)号:CN113013296B
主分类号:H01L31/18
分类号:H01L31/18;H01L21/324;H01L31/0747
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2023.07.28#授权;2021.07.09#实质审查的生效;2021.06.22#公开
摘要:本技术方案公开了一种铸造单晶硅片黑丝的去除方法,HIT异质结太阳能电池及其制备方法,铸造单晶硅片黑丝的去除方法包括:高温磷扩散退火,将铸造单晶硅片放入热处理炉中,抽真空,并加热温度至不低于1200℃,在保护气氛下通三氯氧磷进行表面磷扩散,在上述硅片的表面形成一层磷硅玻璃层,并保温10‑120min,保温结束后在以2‑15℃min的冷却速率降温至常温。通过高温磷扩散退火工艺,有效减少铸造单晶硅片的黑丝面积,不仅有效降低电池片的EL不良比例,且能有效提升电池片的效率。
主权项:1.一种铸造单晶硅片黑丝的去除方法,其特征在于,其步骤包括:高温磷扩散退火,将所述硅片放入热处理炉中,抽真空,并加热温度至不低于1250℃,在保护气氛下通三氯氧磷进行表面磷扩散,在所述硅片的表面形成一层磷硅玻璃层,并保温10-120min,保温结束后在以2-15℃min的冷却速率降温至常温,通过高温磷扩散退火去除所述硅片的黑丝面积。
全文数据:
权利要求:
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