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【发明授权】一种KTN薄膜及其制备方法_山东省科学院新材料研究所_202111545494.8 

申请/专利权人:山东省科学院新材料研究所

申请日:2021-12-16

公开(公告)日:2023-08-25

公开(公告)号:CN114409270B

主分类号:C03C17/34

分类号:C03C17/34

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2023.08.25#授权;2022.05.20#实质审查的生效;2022.04.29#公开

摘要:本发明属于功能薄膜材料技术领域,具体涉及一种KTN薄膜及其制备方法。本发明采用溶胶‑凝胶法制备具有高性能的KTN薄膜,针对薄膜器件集成化的要求,对原料配比以及工艺参数做了设计和优化,改善薄膜性能,降低生产成本,有利于其工业化应用。

主权项:1.一种KTN薄膜,其特征在于:所述KTN薄膜的分子式为K1+ZTa1-X-YNbYMXO3,各个元素的比例分别为K:Ta:Nb:M:O=1+Z:1–X-Y:Y:X:3,M元素为Fe3+、Ti4+或两离子共掺;X为M元素的摩尔当量,0.06≤X≤0.16,Y为Nb元素的摩尔当量,0.48≤Y≤0.66,元素K过量加入,Z为K以重量计的过量百分数,当X为0.06≤X≤0.09,Z为8%-12%;当X为0.09<X≤0.16,Z为5%-7%。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 山东省科学院新材料研究所 一种KTN薄膜及其制备方法

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