申请/专利权人：江油神光石英科技有限公司

申请日：2023-09-07

公开（公告）日：2023-12-08

公开（公告）号：CN117006930B

主分类号：G01B5/26

分类号：G01B5/26;C23C16/44;G01B11/28;B08B5/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.12.08#授权;2023.11.24#实质审查的生效;2023.11.07#公开

摘要：本发明提供了一种cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法，涉及观测技术领域。该cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法，采用反射观测的方式对石英坨料沉积面进行观测，并基于观测结果调节沉积炉的生产工艺。在融石英玻璃的坨料的生产过程中，沉积炉内的观测点温度高达800摄氏度以上，现有的观测一般是采用直筒形状的观测装置进行观测，存在观测筒的筒口处温度过高不利于使用者观测的问题。因此，本发明采用反射观测的方式对坨料的摊开情况进行观测，在观测过程中进行多次反射，降低温度对观察者的影响。

主权项：1.一种cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法，其特征在于，采用反射观测的方式对石英坨料沉积面进行观测，并基于观测结果调节沉积炉的生产工艺；采用反射观测的方式对石英坨料沉积面进行观测，具体包括以下步骤：S01、通过设置在观测筒内的反射镜将坨料的摊开情况进行实时反射；S02、通过肉眼观测或基于机器视觉进行观测；S03、根据观测结果判断坨料的摊开情况是否达到要求，如果是，则调整参数停止坨料的摊开；如果否，则继续控制坨料的摊开，直至其满足生产要求。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江油神光石英科技有限公司 一种cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测方法

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