申请/专利权人:常州时创能源股份有限公司
申请日:2023-11-17
公开(公告)日:2024-01-09
公开(公告)号:CN117374161A
主分类号:H01L31/18
分类号:H01L31/18;H01L31/0216
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.01.26#实质审查的生效;2024.01.09#公开
摘要:本发明提供了一种POLO电池的制备方法,包括在完成隧穿氧化层的生长和本征poly硅层的沉积后,进行一次快速退火,然后再进行硼扩散掺杂。采用本发明的方法,通过控制隧穿氧化层厚度和硼扩散前快速热退火,可有效控制隧穿氧化硅的针孔的密度,进而效提升电池开压和填充因子。
主权项:1.一种POLO电池的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、对硅片进行制绒和抛光处理后,在沉积设备中生长隧穿氧化层并沉积本征poly硅层;S2、以上步骤完成后从沉积设备取出硅片,准备进入退火设备;S3、硅片进入退火设备,进行一次快速退火;S4、快速退火完成后,在沉积的本征poly硅层上进行硼扩散工艺,形成P+poly硅层;S5、进行后续处理形成电池片。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 常州时创能源股份有限公司 一种POLO电池的制备方法
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