申请/专利权人：江苏影速集成电路装备股份有限公司

申请日：2023-11-03

公开（公告）日：2024-01-30

公开（公告）号：CN117471870A

主分类号：G03F9/00

分类号：G03F9/00;H05B47/125;G06T7/00;G06N3/006;G06N3/126

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.02.20#实质审查的生效;2024.01.30#公开

摘要：本申请公开了一种用于LDI设备的光源参数自动调节方法，涉及LDI设备技术领域，该方法根据当前光源参数下的靶标图像的图像质量确定光源参数对应的适应度值，然后根据当前光源参数对应的适应度值进行下一次迭代操作，直至搜索到光源参数的最优解后完成对LDI设备中的光源的调节。该方法自动化程度高且调节效率高，可以自动迭代计算并寻找到一组与当前的生产产品和加工环境匹配的光源参数，使得LDI设备的视觉成像系统具有更好的成像效果，且在不同的应用场景中都有较好的通用性。

主权项：1.一种用于LDI设备的光源参数自动调节方法，其特征在于，所述光源参数自动调节方法包括：利用LDI设备中的相机获取在当前光源参数下的靶标图像，根据所述靶标图像的图像质量确定适应度值，靶标图像的图像质量越优，得到的适应度值越高；根据当前的适应度值进行下一次迭代操作，直至达到迭代终止条件时输出适应度值最大对应的光源参数作为目标光源参数；控制LDI设备中的光源调节至所述目标光源参数，完成对LDI设备中的光源的调节。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏影速集成电路装备股份有限公司 一种用于LDI设备的光源参数自动调节方法

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