申请/专利权人：中国建材国际工程集团有限公司

申请日：2021-12-29

公开（公告）日：2024-01-30

公开（公告）号：CN114388655B

主分类号：H01L31/18

分类号：H01L31/18;H01L31/0216;H01L31/0232;H01L31/073

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.01.30#授权;2022.05.10#实质审查的生效;2022.04.22#公开

摘要：本发明提供一种钝化CdTe太阳电池及其制造方法，在TCO和缓冲层之间采用非平整凸起状结构的MgZnO或SnO2窗口层，凸起状结构可以起到钝化提升开压的作用，同时还能起到陷光作用，提升光吸收和发电效率。

主权项：1.一种钝化CdTe太阳电池的制造方法，其特征在于，包括步骤：1提供一个带有透明底电极的透明衬底层，在所述透明底电极上通过掩膜溅射窗口层材料，所述掩膜为采用带有均匀密集小孔的掩模版，小孔直径1～10μm，小孔间距1～10μm，以在所述透明底电极上形成均匀密集的窗口层材料凸起；2在带有均匀密集的窗口层材料凸起的透明底电极上沉积CdSCdSe缓冲层；在CdSCdSe缓冲层上沉积CdTe光吸收层，通过活化退火工序对所述CdTe光吸收层进行活化退火处理；3在所述CdTe光吸收层上沉积一层背接触层；4采用第一激光器刻线，刻断透明底电极、窗口层、缓冲层和光吸收层，将整个膜层分割为多个电池单元；5涂覆光刻胶，经过衬底方向紫外光曝光显影，以填充第一激光器的刻线；6清洗未曝光光刻胶，采用第二激光器在每个紧邻第一激光器刻线处旁边刻线，刻断窗口层、缓冲层和光吸收层；7在整个膜面沉积背电极；8采用第三激光器在每个紧邻第二激光器刻线处旁边刻线，刻断缓冲层、光吸收层和背电极，所述第一激光器、第二激光器和第三激光器刻线依次排列，得到多个电池单元串联的CdTe太阳电池。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国建材国际工程集团有限公司 一种钝化CdTe太阳电池及其制造方法

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