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【发明公布】一种TC-SAW谐振器_杭州左蓝微电子技术有限公司_202311338956.8 

申请/专利权人:杭州左蓝微电子技术有限公司

申请日:2023-10-12

公开(公告)日:2024-02-13

公开(公告)号:CN117559940A

主分类号:H03H9/02

分类号:H03H9/02;H03H9/13

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.03.01#实质审查的生效;2024.02.13#公开

摘要:本发明公开了一种TC‑SAW谐振器,包括:压电基板,压电基板包括沿第一方向依次排布的第一间隔区、覆盖区和第二间隔区;电极层,设置在压电基板表面,电极层包括第一汇流条、第二汇流条、与第一汇流条连接的多个第一电极条、以及与第二汇流条连接的多个第二电极条,第一电极条和第二电极条在第二方向上交替排布,第二方向垂直于第一方向,第一间隔区、覆盖区和第二间隔区位于第一汇流条和第二汇流条之间,第一电极条位于第一间隔区和覆盖区,第二电极条位于覆盖区和第二间隔区;第一温度补偿层,涂覆于所述覆盖区内的第一电极条和第二电极条上,与所述第一汇流条、第二汇流条之间均设有间隙。避免温度补偿层中的声能量的横向泄露,提高了谐振器的Q值。

主权项:1.一种TC-SAW谐振器,其特征在于,包括:压电基板,所述压电基板包括沿第一方向依次排布的第一间隔区、覆盖区和第二间隔区;电极层,设置在所述压电基板表面,所述电极层包括第一汇流条、第二汇流条、与所述第一汇流条连接的多个第一电极条、以及与所述第二汇流条连接的多个第二电极条,所述第一电极条和所述第二电极条在第二方向上交替排布,所述第二方向垂直于所述第一方向,所述第一间隔区、覆盖区和第二间隔区均位于第一汇流条和第二汇流条之间,所述第一电极条位于所述第一间隔区和覆盖区,所述第二电极条位于所述覆盖区和第二间隔区;第一温度补偿层,涂覆于所述覆盖区内的第一电极条和第二电极条上,沿第一方向所述第一温度补偿层与所述第一汇流条、第二汇流条之间均设有间隙。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 杭州左蓝微电子技术有限公司 一种TC-SAW谐振器

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