申请/专利权人:包头美科硅能源有限公司;云南美科新能源发展有限公司
申请日:2023-12-08
公开(公告)日:2024-02-23
公开(公告)号:CN117587497A
主分类号:C30B15/10
分类号:C30B15/10;C30B29/06
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.03.12#实质审查的生效;2024.02.23#公开
摘要:本发明公开了一种拼接式小口径埚帮结构,包括拼接的上埚帮(11)和下埚帮(12),上埚帮(11)为圆筒状结构,下埚帮(12)的下部设有R弧结构(121),R弧结构(121)的底部向埚帮的中部平缓延伸形成埚底延伸部(122),埚底延伸部(122)的中部设有小口径开口(123),小口径开口(123)内采用石墨埚芯(3)填充;下埚帮(12)的下方设有相互配合的埚托(4),埚托(4)正对着埚底延伸部(122)设置,且埚托(4)的长度大于小口径开口(123)的直径。本发明的优点是减小埚帮底部漏硅面积,进而减小漏硅速度,降低漏硅损失,减弱反应气体的腐蚀程度,延长石墨件寿命,降低埚帮使用成本。
主权项:1.一种拼接式小口径埚帮结构,其特征在于:包括拼接的上埚帮(11)和下埚帮(12),上埚帮(11)为圆筒状结构,下埚帮(12)的下部设有R弧结构(121),R弧结构(121)的底部向埚帮的中部平缓延伸形成埚底延伸部(122),埚底延伸部(122)的中部设有小口径开口(123),小口径开口(123)内采用石墨埚芯(3)填充;下埚帮(12)的下方设有相互配合的埚托(4),埚托(4)正对着埚底延伸部(122)设置,且埚托(4)的长度大于小口径开口(123)的直径。
全文数据:
权利要求:
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