申请/专利权人：连城凯克斯科技有限公司

申请日：2021-10-28

公开（公告）日：2024-02-23

公开（公告）号：CN113983135B

主分类号：F16H25/24

分类号：F16H25/24;F16H25/20;B08B5/02;B08B7/02;C23C16/455

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.02.23#授权;2022.02.18#实质审查的生效;2022.01.28#公开

摘要：本发明属于连接器技术领域，具体的说是一种ALD设备用柔性丝杠螺母连接器，包括丝杠杆，所述丝杠杆上设有丝杠螺母；所述丝杠螺母外壁上连接有内浮动套，所述内浮动套外部活动连接有外浮动套，所述内浮动套与外浮动套上开设有弧形槽，且弧形槽内部设有钢珠，所述外浮动套上连接有固定座，所述固定座上固连有滑台；本发明通过在丝杠螺母上设置有能够沿其径向活动调节的内浮动套与外浮动套，能够有效的削弱丝杠运动过程中，丝杠螺母与滑台的导轨间距变化产生的丝杠径向负载，能够有效的降低丝杠的加工和装配精度要求,减少装配时间,减少丝杠的径向载荷,提高丝杠使用寿命,并能降低丝杠的使用成本。

主权项：1.一种ALD设备用柔性丝杠螺母2连接器，包括丝杠杆1，所述丝杠杆1上设有丝杠螺母2；其特征在于：所述丝杠螺母2外壁上连接有内浮动套3，所述内浮动套3外部活动连接有外浮动套4，所述内浮动套3与外浮动套4侧壁上分别开设有弧形槽5，所述弧形槽5内部设有钢珠6，所述外浮动套4上连接有固定座7，所述固定座7上固连有滑台8；所述丝杠杆1两端分别设有支撑板9，所述滑台8中部开设有避让槽10，且所述丝杠杆1贯穿避让槽10，所述滑台8的端面与对应的支撑板9之间分别连接有伸缩套11，所述伸缩套11的侧壁设置成波浪形且能够沿丝杠杆1的轴向进行伸缩；两所述伸缩套11靠近滑台8端面的一端分别设有磁性环12，所述磁性环12均能与滑台8相吸引，且两磁性环12相互靠近的一端磁极相反；两所述伸缩套11的自由端外壁上分别固连有弧形的拉杆13，所述拉杆13的另一端分别伸入至相对的伸缩套11的凹陷部位处；所述拉杆13由支撑杆14与抖动块15组成，所述支撑杆14的一端与伸缩套11相固连，所述抖动块15通过扭簧与支撑杆14的另一端转动相连，且所述抖动块15一侧的支撑杆14端部设有限位块16，所述限位块16能够对抖动块15自由端向远离伸缩套11一侧的转动进行限位；所述伸缩套11自由端的内壁凹陷处设有若干相互连通的压囊17，所述压囊17上设有一号单向阀18，所述磁性环12的外侧壁上开设有喷气槽19，所述喷气槽19内部设有二号单向阀20，喷气槽19内端与位于伸缩套11最外端的压囊17通过气管21相连通。

全文数据：

权利要求：

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