申请/专利权人：河北光兴半导体技术有限公司;北京盛达众安科技有限公司

申请日：2023-07-07

公开（公告）日：2024-02-23

公开（公告）号：CN220520367U

主分类号：C03B25/12

分类号：C03B25/12;C03B15/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.02.23#授权

摘要：本公开提供一种玻璃基板溢流下拉成型设备及其退火炉，属于玻璃基板溢流下拉成型设备的退火炉技术领域。该退火炉包括：依次设置的前段退火区、应力松弛区和后段退火区；其中，沿玻璃带传送方向，前段退火区包括至少一个退火区，应力松弛区包括至少两个退火区，后段退火区包括至少两个退火区；退火区包括加热器、钢结构和防护层，其中，钢结构的中间形成玻璃带的传送空间，多个加热器分设于玻璃带的两侧，加热器安装在钢结构，防护层铺设在钢结构的外侧，沿玻璃带的宽度方向应力松弛区的每一退火区相邻设置的两个加热器贴合布置。本公开满足高世代玻璃基板的退火炉，使得高世代玻璃基板的残余应力低而满足其日趋高标准要求。

主权项：1.一种玻璃基板溢流下拉成型设备的退火炉，其特征在于，沿玻璃带1传送方向，其包括依次设置的前段退火区、应力松弛区4和后段退火区；其中，沿所述玻璃带1传送方向，所述前段退火区包括至少一个退火区，所述应力松弛区4包括至少两个退火区，所述后段退火区包括至少两个退火区；所述退火区包括加热器8、钢结构87和防护层，其中，所述钢结构87的中间形成所述玻璃带1的传送空间，多个所述加热器8分设于所述玻璃带1的两侧，所述加热器8安装在所述钢结构87，所述防护层铺设在所述钢结构87的外侧，沿所述玻璃带1的宽度方向所述应力松弛区4的每一所述退火区相邻设置的两个所述加热器8贴合布置。

全文数据：

权利要求：

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