申请/专利权人：桂林电子科技大学

申请日：2023-12-07

公开（公告）日：2024-02-27

公开（公告）号：CN117612817A

主分类号：H01C17/075

分类号：H01C17/075;G01K7/18;G01K13/02;G01K13/024;C23C14/04;C23C14/34;C23C14/14;H01C17/12;H01C17/02;H01C17/28

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.15#实质审查的生效;2024.02.27#公开

摘要：本发明公开了一种铂金薄膜超高速流体测温电阻加工及其封装方法，包括如下步骤：1）底片制作；2）遮罩制作；3）溅镀装置制作；4）采用溅射法制制作薄膜铂金热电阻；5）封装，得到铂薄膜热电阻。这种铂薄膜热电阻能实现高精度超高速流体的的瞬态温度值的测量，测量精度高，装置体积小，还能应用于各种超高速流体装置上。

主权项：1.一种铂金薄膜超高速流体测温电阻加工及其封装方法，其特征在于，包括如下步骤：1底片制作：依据绘图软件分别制作第一遮罩模板和第二遮罩模板，将第一遮罩模板和第二遮罩模板分别打印到薄纸上并将薄纸放置在发光板上，确保制作好的第一遮罩模板和第二遮罩模板的镂空部分完全曝光，使用单片胶卷分别对两张薄纸进行拍摄，以捕捉所需的图像，完成拍摄后，对胶卷进行显影，在显影的过程中，第一遮罩模板和第二遮罩模板的镂空部分将呈现透明的效果，而其他部分则呈现为黑色，显影后得到第一底片和第二底片；2遮罩制作：采用丙酮和乙醇分别对两块镍薄板进行清洗，再用旋转涂覆仪器分别对两块镍薄板两面进行抗蚀剂涂覆，之后在两块镍薄板上面分别覆盖步骤1得到的第一底片和第二底片，将两块覆盖了第一底片和第二底片的镍薄板均进行时长为12秒的紫外线曝光，曝光后浸入NMD-3显影液，一分钟后曝光部分被显影，曝光形状形成后用蒸馏水洗净镍薄板，再用氮气吹干，干燥后的镍薄板浸入60℃的氯化亚铁溶液中，一小时后曝光部分被溶解，拿出镍薄板并用乙醇液洗净，利用氮气干燥，得到第一遮罩板和第二遮罩板；3溅镀装置制作：溅镀装置包括由下往上依次叠接的底台、酚醛树脂支座和耐热玻璃底座，底台四角均设有朝上的支柱，支柱上段设有螺纹，支柱上设有与螺纹适配带台阶的支柱螺母，第一遮罩板或第二遮罩板被溶解的四角通孔对应套入支柱上，支柱螺母的台阶处对第一遮罩板或第二遮罩板限位，溅镀装置还包括溅镀器外壳，溅镀器外壳内顶面中部设有喷嘴底座，喷嘴底座上设有一组间隔阵列排布朝下的高能粒子喷嘴，及中心部设有朝下的铂金阳极连接柱，铂金阳极连接柱下端头部设有铂金阳极，铂金阳极底面与支柱上端头面之间设有间距，溅镀器外壳罩住底台、酚醛树脂支座和耐热玻璃底座，高能粒子喷嘴外接电源；4采用溅射法制作铂薄膜热电阻：4.1将第一遮罩板对应放置到支柱上，调整支柱螺母，使第一遮罩板平稳，盖上溅镀器外壳，开启溅镀装置中高能粒子喷嘴外接的电源，通过高能粒子喷嘴喷射形成直流高压电场，铂金阳极在直流高压电场的作用下形成的离子流，使离子的动能和动量转移给固体表面的原子，因化学键断裂而飞溅，轰击第一遮罩板从而在耐热玻璃底座形成条状铂金属膜；4.2关闭高能粒子喷嘴外接的电源，拿开溅镀器外壳，将第一遮罩板取下换上第二遮罩板到支柱上，调整支柱螺母，使第二遮罩板平稳，再盖上溅镀器外壳，开启溅镀装置中高能粒子喷嘴外接的电源，通过高能粒子喷嘴喷射形成直流高压电场，铂金阳极在直流高压电场的作用下形成的离子流，使离子的动能和动量转移给固体表面的原子，因化学键断裂而飞溅，轰击第二遮罩板从而在耐热玻璃底座形成方形铂金属膜；5封装：条状铂金属膜被固定在耐热玻璃底座的基板表面，耐热玻璃底座两侧是方形铂金属膜形成的方形铂金封端，耐热玻璃底座侧边用铜薄膜导线引出以连接外部电桥，引出导线与铂金封端之间覆盖导电剂形成铂金封边，得到铂薄膜热电阻。

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