申请/专利权人：东京毅力科创株式会社

申请日：2018-10-31

公开（公告）日：2024-03-05

公开（公告）号：CN111263973B

主分类号：H01L21/027

分类号：H01L21/027

优先权：["20171101 JP 2017-211984"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.05#授权;2020.08.28#实质审查的生效;2020.06.09#公开

摘要：本发明的处理液供给系统1包括处理液供给装置10和控制装置100，其中处理液供给装置10包括：收纳承载器70的承载器收纳部12；收纳从承载器70取出的处理液瓶80的瓶收纳部13；从处理液瓶80对基片处理装置90送出处理液的送液部14；和输送部15，控制装置100构成为能够执行如下步骤：控制输送部15以使得从承载器收纳部12的承载器70取出处理液瓶80并将其输送到瓶收纳部13的步骤；控制输送部15以使得对送液部14输送处理液瓶80的步骤；和控制输送部15以使得将处理液瓶80收纳在承载器收纳部12的承载器70的步骤。

主权项：1.一种处理液供给系统，其特征在于：包括承载器保管装置、处理液供给装置、自动输送装置和控制装置，所述承载器保管装置具有多个承载器，每个所述承载器收纳多个处理液瓶，所述处理液供给装置包括：收纳从所述承载器保管装置取出的所述承载器的第一承载器收纳部；收纳从所述承载器取出的所述处理液瓶的第一瓶收纳部；从自所述承载器取出的所述处理液瓶对基片处理装置送出处理液的送液部；和在所述第一承载器收纳部、所述第一瓶收纳部与所述送液部之间输送所述处理液瓶的第一输送部，所述自动输送装置构成为能够在所述承载器保管装置与所述处理液供给装置之间输送多个所述承载器，所述控制装置构成为能够控制所述处理液供给系统的整体工作，所述控制装置构成为能够执行如下步骤：控制所述第一输送部，以使得从所述第一承载器收纳部的所述承载器取出所述处理液瓶并将其输送到所述第一瓶收纳部的步骤；控制所述第一输送部，以使得从所述第一瓶收纳部对所述送液部输送所述处理液瓶的步骤；和控制所述第一输送部，以使得从所述送液部输送已用完的所述处理液瓶并将其收纳在所述第一承载器收纳部的所述承载器的步骤。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东京毅力科创株式会社 处理液供给系统、处理液供给装置和承载器保管装置

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