申请/专利权人:南通新宙邦电子材料有限公司
申请日:2022-08-29
公开(公告)日:2024-03-08
公开(公告)号:CN117658775A
主分类号:C07C29/74
分类号:C07C29/74;C07C29/80;C07C29/76;C07C31/10
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.03.26#实质审查的生效;2024.03.08#公开
摘要:本发明提供了一种超高纯异丙醇的制备方法,其包括以下步骤:1减压精馏;2常压精馏;3离子交换:将步骤2获得的异丙醇通过离子交换混合材料,得到所述超高纯异丙醇;所述离子交换混合材料包括阳离子交换材料和阴离子交换材料,所述阳离子交换材料的交换官能团包含磺酸基,所述阴离子交换材料的交换官能团包含胺基。本发明所述制备方法可高效、快捷地去除异丙醇中残留的金属离子,使各金属离子的含量均小于0.01ppb,符合SEMIGrade5级标准,且异丙醇含量大于99.999%,普遍适用于半导体、集成电路的清洗和干燥等。此外,本发明制备方法适合工业化连续生产,将推动集成电路行业向更高的纳米工艺制程发展。
主权项:1.一种超高纯异丙醇的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:1减压精馏:将工业级异丙醇在温度为10~60℃,真空度为50~100kPa,回流比为1~5的条件下进行减压精馏;2常压精馏:将步骤1获得的异丙醇在温度为80~95℃,回流比为1~5的条件下进行常压精馏;3离子交换:将步骤2获得的异丙醇通过离子交换混合材料,得到所述超高纯异丙醇;所述离子交换混合材料包括阳离子交换材料和阴离子交换材料,所述阳离子交换材料的交换官能团包含磺酸基,所述阴离子交换材料的交换官能团包含胺基。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 南通新宙邦电子材料有限公司 一种超高纯异丙醇的制备方法
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